Mit Tantalcarbid beschichteter Suszeptor für Wafer

Kurze Beschreibung:

Semicera ist führend in der Hochtemperatur-Materialschutztechnologie und wir sind stolz darauf, CVD-Tantalcarbid (TaC)-Beschichtungsprodukte einzuführen, die einen zuverlässigen Hochtemperaturschutz für Ihre Graphitsubstrate bieten.Graphit ist ein hervorragend hochtemperaturbeständiges Material, neigt jedoch bei hohen Temperaturen zur Oxidation, die auch in einem Vakuumofen nicht vollständig vermieden werden kann.Unsere CVD-Tantalcarbid (TaC)-Beschichtung kann die Oxidation des Graphitsubstrats wirksam verhindern und gleichzeitig seine hervorragende Hochtemperaturleistung beibehalten.TaC ist außerdem ein inertes Material, das Reaktionen mit Gasen wie Argon und Wasserstoff widerstehen kann.Wenden Sie sich noch heute an Semicera, um mehr über unsere mit Tantalkarbid-CVD-beschichteten EPI-Suszeptoren zu erfahren, um die Stabilität und Zuverlässigkeit Ihrer Hochtemperaturanwendungen sicherzustellen.

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Produktdetail

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Die TaC-Beschichtung ist eine Art Tantalkarbid (TaC)-Beschichtung, die durch physikalische Gasphasenabscheidungstechnologie hergestellt wird und die folgenden Eigenschaften aufweist:

1. Hohe Härte: Die TaC-Beschichtungshärte ist hoch, kann normalerweise 2500–3000 HV erreichen und ist eine ausgezeichnete Hartbeschichtung.

2. Verschleißfestigkeit: Die TaC-Beschichtung ist sehr verschleißfest, wodurch der Verschleiß und die Beschädigung mechanischer Teile während des Gebrauchs wirksam reduziert werden können.

3. Gute Hochtemperaturbeständigkeit: Die TaC-Beschichtung kann ihre hervorragende Leistung auch in Umgebungen mit hohen Temperaturen beibehalten.

4. Gute chemische Stabilität: Die TaC-Beschichtung weist eine gute chemische Stabilität auf und kann vielen chemischen Reaktionen wie Säuren und Basen widerstehen.

Tantalkarbid-CVD-Beschichtung EPI Susceptor_Semicera (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性 Physikalische Eigenschaften von TaC Beschichtung
密度/ Dichte	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Spezifischer Emissionsgrad	0,3
热膨胀系数 / Wärmeausdehnungskoeffizient	6,3 10^-6/K
努氏硬度/ Härte (HK)	2000 HK
电阻 / Widerstand	1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Thermische Stabilität	<2500℃
石墨尺寸变化 / Graphitgrößenänderungen	-10~-20um
涂层厚度 / Beschichtungsdicke	≥20um typischer Wert (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd ist ein High-Tech-Unternehmen, das sich auf die Produktion und den Vertrieb hochwertiger fortschrittlicher Materialien konzentriert. Die Materialien und Technologien umfassen Graphit, Siliziumkarbid, Keramik, Oberflächenbehandlung usw.Die Produkte werden häufig in den Bereichen Photovoltaik, Halbleiter, neue Energie, Metallurgie usw. eingesetzt.

Unser technisches Team stammt aus führenden inländischen Forschungseinrichtungen und kann professionellere Materiallösungen für Sie bereitstellen.

Wir heißen Sie herzlich willkommen, unsere Fabrik zu besuchen. Lassen Sie uns weitere Gespräche führen!