Kundenspezifische Teile mit TaC-Tantalcarbid-Beschichtung

Maßgeschneiderte Teile mit TaC-Tantalcarbid-Beschichtung. Empfohlenes Bild

Kurze Beschreibung:

Semicera ist führend in der Halbleiterindustrie mit einer Produktlinie aus Tantalkarbid (TaC), die immer anspruchsvolleren Anforderungen gerecht wird.Die Einführung von 8-Zoll-Wafern aus Siliziumkarbid (SiC) hat zu steigenden Anforderungen an verschiedene Halbleiterprozesse geführt, insbesondere an Epitaxieprozesse, bei denen Temperaturen über 2000 Grad Celsius erreichen können.Herkömmliche Grundmaterialien wie mit Siliziumkarbid beschichteter Graphit sublimieren häufig bei hohen Temperaturen und zerstören den Epitaxieprozess.CvD-Tantalkarbid (TaC) löst dieses Problem jedoch wirksam, da es Temperaturen von bis zu 2300 Grad Celsius standhält und eine längere Lebensdauer bietet.Kontaktieren Sie Semicera für kundenspezifische Teile mit Tantalkarbid-Tac-CvD-Beschichtung und erfahren Sie mehr über unsere fortschrittlichen Lösungen.

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Produktdetail

Produkt Tags

Die TaC-Beschichtung ist eine Art Tantalkarbid (TaC)-Beschichtung, die durch physikalische Gasphasenabscheidungstechnologie hergestellt wird und die folgenden Eigenschaften aufweist:

1. Hohe Härte: Die TaC-Beschichtungshärte ist hoch, kann normalerweise 2500–3000 HV erreichen und ist eine ausgezeichnete Hartbeschichtung.

2. Verschleißfestigkeit: Die TaC-Beschichtung ist sehr verschleißfest, wodurch der Verschleiß und die Beschädigung mechanischer Teile während des Gebrauchs wirksam reduziert werden können.

3. Gute Hochtemperaturbeständigkeit: Die TaC-Beschichtung kann ihre hervorragende Leistung auch in Umgebungen mit hohen Temperaturen beibehalten.

4. Gute chemische Stabilität: Die TaC-Beschichtung weist eine gute chemische Stabilität auf und kann vielen chemischen Reaktionen wie Säuren und Basen widerstehen.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Physikalische Eigenschaften von TaC Beschichtung
密度/ Dichte	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Spezifischer Emissionsgrad	0,3
热膨胀系数 / Wärmeausdehnungskoeffizient	6,3 10^-6/K
努氏硬度/ Härte (HK)	2000 HK
电阻 / Widerstand	1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Thermische Stabilität	<2500℃
石墨尺寸变化 / Graphitgrößenänderungen	-10~-20um
涂层厚度 / Beschichtungsdicke	≥20um typischer Wert (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd ist ein High-Tech-Unternehmen, das sich auf die Produktion und den Vertrieb hochwertiger fortschrittlicher Materialien konzentriert. Die Materialien und Technologien umfassen Graphit, Siliziumkarbid, Keramik, Oberflächenbehandlung usw.Die Produkte werden häufig in den Bereichen Photovoltaik, Halbleiter, neue Energie, Metallurgie usw. eingesetzt.

Unser technisches Team stammt aus führenden inländischen Forschungseinrichtungen und kann professionellere Materiallösungen für Sie bereitstellen.

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