Rekristallisiertes Siliziumkarbid-Kristallboot für die Halbleiterindustrie

Kurze Beschreibung:

Das rekristallisierte Siliziumkarbid-Kristallboot von VET Energy ist ein Hochleistungsprodukt, das darauf ausgelegt ist, über einen längeren Zeitraum eine gleichbleibende und zuverlässige Leistung zu bieten.Es zeichnet sich durch eine hervorragende Hitzebeständigkeit und thermische Gleichmäßigkeit sowie eine hohe Reinheit und Erosionsbeständigkeit aus und ist damit die perfekte Lösung für Waferverarbeitungsanwendungen.


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Eigenschaften von rekristallisiertem Siliziumkarbid

Rekristallisiertes Siliziumkarbid (R-SiC) ist ein Hochleistungsmaterial mit einer Härte, die nur von Diamant übertroffen wird und bei einer hohen Temperatur über 2000℃ gebildet wird.Es behält viele hervorragende Eigenschaften von SiC bei, wie z. B. Hochtemperaturfestigkeit, starke Korrosionsbeständigkeit, ausgezeichnete Oxidationsbeständigkeit, gute Temperaturwechselbeständigkeit und so weiter.

● Hervorragende mechanische Eigenschaften.Rekristallisiertes Siliziumkarbid hat eine höhere Festigkeit und Steifigkeit als Kohlenstofffasern, eine hohe Schlagfestigkeit, kann in Umgebungen mit extremen Temperaturen eine gute Leistung erbringen und kann in einer Vielzahl von Situationen eine bessere Gegengewichtsleistung erbringen.Darüber hinaus weist es eine gute Flexibilität auf und wird durch Dehnung und Biegung nicht so leicht beschädigt, was seine Leistung erheblich verbessert.

● Hohe Korrosionsbeständigkeit.Rekristallisiertes Siliziumkarbid weist eine hohe Korrosionsbeständigkeit gegenüber einer Vielzahl von Medien auf, kann die Erosion einer Vielzahl von korrosiven Medien verhindern, kann seine mechanischen Eigenschaften über einen langen Zeitraum beibehalten, weist eine starke Haftung auf, sodass es eine längere Lebensdauer hat.Darüber hinaus weist es eine gute thermische Stabilität auf, kann sich an einen bestimmten Temperaturbereich anpassen und seine Anwendungswirkung verbessern.

● Beim Sintern kommt es nicht zu Schrumpfungen.Da es beim Sintern nicht zu einer Schrumpfung kommt, führt keine Restspannung zu Verformungen oder Rissen im Produkt und es können Teile mit komplexen Formen und hoher Präzision hergestellt werden.

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重结晶碳化硅物理特性

Physikalische Eigenschaften von rekristallisiertem Siliziumkarbid

性质 / Eigentum

典型数值 / Typischer Wert

使用温度/ Arbeitstemperatur (°C)

1600°C (mit Sauerstoff), 1700°C (reduzierende Umgebung)

SiC含量/ SiC-Gehalt

> 99,96 %

自由Si含量/ Kostenloser Si-Inhalt

< 0,1 %

体积密度/Schüttdichte

2,60–2,70 g/cm3

气孔率/ Scheinbare Porosität

< 16 %

抗压强度/ Druckfestigkeit

> 600MPa

常温抗弯强度/Kaltbiegefestigkeit

80-90 MPa (20°C)

高温抗弯强度Warmbiegefestigkeit

90–100 MPa (1400 °C)

热膨胀系数/ Wärmeausdehnung bei 1500 °C

4,70 10-6/°C

导热系数/Wärmeleitfähigkeit bei 1200 °C

23W/m•K

杨氏模量/ Elastizitätsmodul

240 GPa

抗热震性/ Wärmeschockbeständigkeit

Extrem gut

VET Energy ist der eigentliche Hersteller von kundenspezifischen Graphit- und Siliziumkarbidprodukten mit CVD-Beschichtung und kann verschiedene kundenspezifische Teile für die Halbleiter- und Photovoltaikindustrie liefern.Unser technisches Team stammt aus führenden inländischen Forschungseinrichtungen und kann professionellere Materiallösungen für Sie bereitstellen.

Wir entwickeln kontinuierlich fortschrittliche Prozesse, um fortschrittlichere Materialien bereitzustellen, und haben eine exklusive patentierte Technologie entwickelt, die die Verbindung zwischen der Beschichtung und dem Substrat fester und weniger anfällig für Ablösungen machen kann.

Wir heißen Sie herzlich willkommen, unsere Fabrik zu besuchen. Lassen Sie uns weitere Gespräche führen!

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