Rekristallisiertes Siliziumkarbid-Waferboot mit CVD-Beschichtung

Eigenschaften von rekristallisiertem Siliciumcarbid

Rekristallisiertes Siliciumcarbid (R-SiC) ist ein Hochleistungswerkstoff mit der zweithöchsten Härte nach Diamant, der bei hohen Temperaturen über 2000 °C entsteht. Es behält viele der hervorragenden Eigenschaften von SiC bei, wie z. B. hohe Temperaturfestigkeit, starke Korrosionsbeständigkeit, ausgezeichnete Oxidationsbeständigkeit, gute Temperaturwechselbeständigkeit usw.

● Hervorragende mechanische Eigenschaften. Rekristallisiertes Siliciumcarbid weist eine höhere Festigkeit und Steifigkeit als Kohlenstofffasern auf, besitzt eine hohe Schlagfestigkeit, zeigt gute Leistung in extremen Temperaturumgebungen und bietet in verschiedenen Situationen eine bessere Gegengewichtsleistung. Darüber hinaus ist es flexibel und unempfindlich gegenüber Dehnung und Biegung, was seine Leistungsfähigkeit deutlich verbessert.

● Hohe Korrosionsbeständigkeit. Rekristallisiertes Siliciumcarbid weist eine hohe Korrosionsbeständigkeit gegenüber einer Vielzahl von Medien auf, schützt vor der Erosion durch verschiedene korrosive Medien, behält seine mechanischen Eigenschaften über lange Zeit bei und zeichnet sich durch eine starke Haftung aus, was zu einer längeren Lebensdauer führt. Darüber hinaus besitzt es eine gute thermische Stabilität, passt sich Temperaturschwankungen in einem bestimmten Bereich an und verbessert so seine Anwendungsmöglichkeiten.

● Sintern führt nicht zu Schrumpfung. Da beim Sinterprozess keine Schrumpfung auftritt, entstehen keine Restspannungen, die zu Verformungen oder Rissen des Produkts führen können. Dadurch lassen sich Teile mit komplexen Formen und hoher Präzision herstellen.