Langlebige Siliziumkarbid-Wafer-Kassette mit SiC-Beschichtung

Kurzbeschreibung:

Die Siliziumkarbid-Waferkassette von VET Energy mit SiC-Beschichtung ist ein Hochleistungsprodukt, das für eine konstante und zuverlässige Leistung über einen längeren Zeitraum ausgelegt ist. Es zeichnet sich durch eine hervorragende Hitzebeständigkeit und thermische Gleichmäßigkeit sowie eine hohe Reinheit und Erosionsbeständigkeit aus und ist damit die perfekte Lösung für Waferverarbeitungsanwendungen.


Produktdetails

Produkt-Tags

Eigenschaften von rekristallisiertem Siliziumkarbid

Rekristallisiertes Siliziumkarbid (R-SiC) ist ein Hochleistungsmaterial mit einer Härte, die nur von Diamant übertroffen wird und bei einer hohen Temperatur über 2000℃ gebildet wird. Es behält viele hervorragende Eigenschaften von SiC bei, wie z. B. Hochtemperaturfestigkeit, starke Korrosionsbeständigkeit, ausgezeichnete Oxidationsbeständigkeit, gute Temperaturwechselbeständigkeit und so weiter.

● Hervorragende mechanische Eigenschaften. Rekristallisiertes Siliziumkarbid hat eine höhere Festigkeit und Steifigkeit als Kohlenstofffasern, eine hohe Schlagfestigkeit, kann in Umgebungen mit extremen Temperaturen eine gute Leistung erbringen und kann in einer Vielzahl von Situationen eine bessere Gegengewichtsleistung erbringen. Darüber hinaus weist es eine gute Flexibilität auf und wird durch Dehnung und Biegung nicht so leicht beschädigt, was seine Leistung erheblich verbessert.

● Hohe Korrosionsbeständigkeit. Rekristallisiertes Siliziumkarbid weist eine hohe Korrosionsbeständigkeit gegenüber einer Vielzahl von Medien auf, kann die Erosion einer Vielzahl von korrosiven Medien verhindern, kann seine mechanischen Eigenschaften über einen langen Zeitraum beibehalten, weist eine starke Haftung auf, sodass es eine längere Lebensdauer hat. Darüber hinaus weist es eine gute thermische Stabilität auf, kann sich an einen bestimmten Temperaturbereich anpassen und seine Anwendungswirkung verbessern.

● Beim Sintern kommt es nicht zu Schrumpfungen. Da es beim Sintern nicht zu einer Schrumpfung kommt, führt keine Restspannung zu Verformungen oder Rissen im Produkt und es können Teile mit komplexen Formen und hoher Präzision hergestellt werden.

重结晶碳化硅物理特性

Physikalische Eigenschaften von rekristallisiertem Siliziumkarbid

性质 / Eigentum

典型数值 / Typischer Wert

使用温度/ Arbeitstemperatur (°C)

1600°C (mit Sauerstoff), 1700°C (reduzierende Umgebung)

SiC含量/ SiC-Gehalt

> 99,96 %

自由Si含量/ Kostenloser Si-Inhalt

< 0,1 %

体积密度/Schüttdichte

2,60–2,70 g/cm3

气孔率/ Scheinbare Porosität

< 16 %

抗压强度/ Kompressionsstärke

> 600MPa

常温抗弯强度/Kaltbiegefestigkeit

80-90 MPa (20°C)

高温抗弯强度Warmbiegefestigkeit

90–100 MPa (1400 °C)

热膨胀系数/ Wärmeausdehnung bei 1500 °C

4,70 10-6/°C

导热系数/Wärmeleitfähigkeit bei 1200 °C

23W/m•K

杨氏模量/ Elastizitätsmodul

240 GPa

抗热震性/ Thermoschockbeständigkeit

Extrem gut

VET Energy ist Dieechter Hersteller von maßgeschneiderten Graphit- und Siliziumkarbidprodukten mit CVD-Beschichtung,liefern kannverschiedenkundenspezifische Teile für die Halbleiter- und Photovoltaikindustrie. OUnser technisches Team stammt aus führenden inländischen Forschungseinrichtungen und kann professionellere Materiallösungen anbietenfür dich.

Wir entwickeln kontinuierlich fortschrittliche Prozesse, um fortschrittlichere Materialien bereitzustellen.Undhaben eine exklusive patentierte Technologie entwickelt, die die Verbindung zwischen der Beschichtung und dem Untergrund fester und weniger anfällig für Ablösungen machen kann.

CVD SiC薄膜基本物理性能

Grundlegende physikalische Eigenschaften von CVD-SiCBeschichtung

性质 / Eigentum

典型数值 / Typischer Wert

晶体结构 / Kristallstruktur

FCC-β-Phase多晶, 主要为(111)取向

密度 / Dichte

3,21 g/cm³

硬度 / Härte

2500 U/min (500 g Ladung)

晶粒大小 / Korngröße

2~10μm

纯度 / Chemische Reinheit

99,99995 %

热容 / Wärmekapazität

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimationstemperatur

2700℃

抗弯强度 / Biegefestigkeit

415 MPa RT 4-Punkt

杨氏模量 / Elastizitätsmodul

430 Gpa 4pt Biegung, 1300℃

导热系数 / ThermalLeitfähigkeit

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Wärmeausdehnung (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Wir heißen Sie herzlich willkommen, unsere Fabrik zu besuchen. Lassen Sie uns weitere Gespräche führen!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Vorherige:
  • Nächste:

  • WhatsApp Online-Chat!