CVD-Siliciumcarbid-beschichteter Graphitring

Abbildung eines mit CVD-Siliziumkarbid beschichteten Graphitrings

Kurzbeschreibung:

Der mit Siliziumkarbid beschichtete Graphitring von VET Energy ist ein Hochleistungsprodukt, das für eine gleichbleibende und zuverlässige Leistung über einen langen Zeitraum entwickelt wurde. Er zeichnet sich durch hervorragende Hitzebeständigkeit und thermische Homogenität, hohe Reinheit und Erosionsbeständigkeit aus und ist somit die ideale Lösung für Anwendungen in der Waferbearbeitung.

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Produktdetails

Produkt-Tags

Typische Eigenschaften des Basisgraphitmaterials:

Scheinbare Dichte:	1,85 g/cm³
Elektrischer Widerstand:	11 μΩm
Biegefestigkeit:	49 MPa (500 kgf/cm²)
Shore-Härte:	58
Asche:	<5 ppm
Wärmeleitfähigkeit:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Wir liefern verschiedene Suszeptoren und Graphitkomponenten für alle gängigen Epitaxiereaktoren. Unser Produktportfolio umfasst Barrel-Suszeptoren für LPE-Anlagen, Pancake-Suszeptoren für LPE-, CSD- und Gemini-Anlagen sowie Einzelwafer-Suszeptoren für angewandte und ASM-Anlagen.

Durch die Kombination starker Partnerschaften mit führenden OEMs, Materialexpertise und Fertigungs-Know-how bietet vet das optimale Design für Ihre Anwendung.

VET Energy ist Dieechter Hersteller von kundenspezifischen Graphit- und Siliciumcarbidprodukten mit CVD-Beschichtungkann liefernverschiedenKundenspezifische Bauteile für die Halbleiter- und Photovoltaikindustrie. OUnser technisches Team stammt von führenden inländischen Forschungseinrichtungen und kann daher professionellere Materiallösungen anbieten.für dich.

FEigenschaften unserer Produkte:

1. Hohe Oxidationsbeständigkeit bei hohen Temperaturen bis zu 1700℃.
2. Hohe Reinheit undthermische Gleichmäßigkeit
3. Ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit: gegenüber Säuren, Laugen, Salzen und organischen Reagenzien.
4. Hohe Härte, kompakte Oberfläche, feine Partikel.
5. Längere Lebensdauer und höhere Widerstandsfähigkeit

CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundlegende physikalische Eigenschaften von CVD-SiCBeschichtung
性质 / Eigentum	典型数值 / Typischer Wert
晶体结构 / Kristallstruktur	FCC β-Phase多晶, 主要为（111）取向
密度 / Dichte	3,21 g/cm³
硬度 / Härte	2500 U/min (500 g Ladung)
晶粒大小 / Korngröße	2–10 μm
纯度 Chemische Reinheit	99,99995 %
热容 / Wärmekapazität	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimationstemperatur	2700℃
抗弯强度 / Biegefestigkeit	415 MPa RT 4-Punkt
杨氏模量 / Elastizitätsmodul	430 GPA 4pt Biegung, 1300℃
导热系数 / ThermelLeitfähigkeit	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Wärmeausdehnung (CTE)	4,5×10^-6K^-1