CVD-Siliziumkarbid-beschichteter Graphitring

Kurzbeschreibung:

Der mit Siliziumkarbid beschichtete Graphitring von VET Energy ist ein Hochleistungsprodukt, das für eine konstante und zuverlässige Leistung über einen längeren Zeitraum ausgelegt ist. Es zeichnet sich durch eine hervorragende Hitzebeständigkeit und thermische Gleichmäßigkeit sowie eine hohe Reinheit und Erosionsbeständigkeit aus und ist damit die perfekte Lösung für Waferverarbeitungsanwendungen.

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Produktdetails

Produkt-Tags

Typische Eigenschaften von Basisgraphitmaterial:

Scheinbare Dichte:	1,85 g/cm3
Elektrischer Widerstand:	11 μΩm
Biegefestigkeit:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Shore-Härte:	58
Asche:	<5ppm
Wärmeleitfähigkeit:	116 W/mK (100 kcal/mh-℃)

Wir liefern verschiedene Suszeptoren und Graphitkomponenten für alle gängigen Epitaxiereaktoren. Zu unseren Produkten gehören Zylindersuszeptoren für LPE-Einheiten, Pancake-Suszeptoren für LPE-, CSD- und Gemini-Einheiten sowie Einzelwafer-Suszeptoren für angewandte und ASM-Einheiten.

Durch die Kombination starker Partnerschaften mit führenden OEMs, Materialkompetenz und Fertigungs-Know-how bietet vet das optimale Design für Ihre Anwendung.

VET Energy ist Dieechter Hersteller von maßgeschneiderten Graphit- und Siliziumkarbidprodukten mit CVD-Beschichtung,liefern kannverschiedenkundenspezifische Teile für die Halbleiter- und Photovoltaikindustrie. OUnser technisches Team stammt aus führenden inländischen Forschungseinrichtungen und kann professionellere Materiallösungen anbietenfür dich.

FEigenschaften unserer Produkte:

1. Oxidationsbeständigkeit bei hohen Temperaturen bis 1700℃.
2. Hohe Reinheit undthermische Gleichmäßigkeit
3. Hervorragende Korrosionsbeständigkeit: Säure, Alkali, Salz und organische Reagenzien.
4. Hohe Härte, kompakte Oberfläche, feine Partikel.
5. Längere Lebensdauer und langlebiger

CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundlegende physikalische Eigenschaften von CVD-SiCBeschichtung
性质 / Eigentum	典型数值 / Typischer Wert
晶体结构 / Kristallstruktur	FCC-β-Phase多晶, 主要为（111）取向
密度 / Dichte	3,21 g/cm³
硬度 / Härte	2500 U/min (500 g Ladung)
晶粒大小 / Korngröße	2~10μm
纯度 / Chemische Reinheit	99,99995 %
热容 / Wärmekapazität	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimationstemperatur	2700℃
抗弯强度 / Biegefestigkeit	415 MPa RT 4-Punkt
杨氏模量 / Elastizitätsmodul	430 Gpa 4pt Biegung, 1300℃
导热系数 / ThermalLeitfähigkeit	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Wärmeausdehnung (CTE)	4,5×10^-6K^-1