Großes rekristallisiertes Siliziumkarbid-Wafer-Boot

Kurzbeschreibung:

Das rekristallisierte Siliziumkarbid-Waferboot von VET Energy ist ein Hochleistungsprodukt, das für eine konstante und zuverlässige Leistung über einen längeren Zeitraum ausgelegt ist. Es zeichnet sich durch eine hervorragende Hitzebeständigkeit und thermische Gleichmäßigkeit sowie eine hohe Reinheit und Erosionsbeständigkeit aus und ist damit die perfekte Lösung für Waferverarbeitungsanwendungen.

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Produktdetails

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Das Siliziumkarbid-Waferboot ist eine tragende Vorrichtung für Wafer, die hauptsächlich in Solar- und Halbleiterdiffusionsprozessen verwendet wird. Es verfügt über Eigenschaften wie Verschleißfestigkeit, Korrosionsbeständigkeit, Schlagfestigkeit bei hohen Temperaturen, Beständigkeit gegen Plasmabeschuss, Tragfähigkeit bei hohen Temperaturen, hohe Wärmeleitfähigkeit, hohe Wärmeableitung und eine langfristige Verwendung, die sich nicht leicht biegen und verformen lässt. Unser Unternehmen verwendet hochreines Siliziumkarbidmaterial, um die Lebensdauer zu gewährleisten, und bietet maßgeschneiderte Designs, einschließlich verschiedener vertikaler und horizontaler Waferboote.

Materialdatenblatt

材料Material	R-SiC
使用温度Arbeitstemperatur (°C)	1600°C (oxidierende Umgebung) 1700°C (reduzierende Umgebung)
SiC含量SiC-Gehalt (%)	> 99
自由Si 含量Freier Si-Gehalt (%)	< 0,1
体积密度Schüttdichte (g/cm3)	2,60-2,70
气孔率Scheinbare Porosität (%)	< 16
抗压强度Druckfestigkeit (MPa)	> 600
常温抗弯强度Kaltbiegefestigkeit (MPa)	80-90 (20°C)
高温抗弯强度Warmbiegefestigkeit (MPa)	90-100 (1400°C)
热膨胀系数Wärmeausdehnungskoeffizient bei 1500 °C (10-6/°C)	4,70
导热系数Wärmeleitfähigkeit bei 1200 °C (W/m·K)	23
杨氏模量Elastizitätsmodul (GPa)	240
抗热震性Thermoschockbeständigkeit	很好Extrem gut

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltdist ein High-Tech-Unternehmen, das sich auf die Produktion und den Vertrieb hochwertiger, fortschrittlicher Materialien, Materialien und Technologien konzentrierteinschließlichGraphit, Siliziumkarbid, Keramik, Oberflächenbehandlung und so weiter. Die Produkte werden häufig in den Bereichen Photovoltaik, Halbleiter, neue Energie, Metallurgie usw. eingesetzt.

Unser technisches Team stammt aus führenden inländischen Forschungseinrichtungen und kann professionellere Materiallösungen anbietenfür dich.

Wir heißen Sie herzlich willkommen, unsere Fabrik zu besuchen. Lassen Sie uns weitere Gespräche führen!