Siliziumkarbid-Waferboote sind lasttragende Bauteile für Wafer, die hauptsächlich in der Solar- und Halbleiterindustrie eingesetzt werden. Sie zeichnen sich durch Verschleißfestigkeit, Korrosionsbeständigkeit, hohe Schlagfestigkeit bei hohen Temperaturen, Beständigkeit gegen Plasmabeschuss, hohe Temperaturbeständigkeit, hohe Wärmeleitfähigkeit, hohe Wärmeableitung und Formstabilität auch bei Langzeitbeanspruchung aus. Unser Unternehmen verwendet hochreines Siliziumkarbid, um eine lange Lebensdauer zu gewährleisten, und bietet kundenspezifische Designs, darunter verschiedene vertikale und horizontale Waferboote.
Materialdatenblatt
| 材料Material | R-SiC |
| 使用温度Betriebstemperatur (°C) | 1600°C (oxidierende Umgebung) 1700°C (reduzierende Umgebung) |
| SiC含量SiC-Gehalt (%) | > 99 |
| 自由Si 含量Freier Si-Gehalt (%) | < 0,1 |
| 体积密度Schüttdichte (g/cm3) | 2,60-2,70 |
| 气孔率Scheinbare Porosität (%) | < 16 |
| 抗压强度Druckfestigkeit (MPa) | > 600 |
| 常温抗弯强度Kaltbiegefestigkeit (MPa) | 80-90 (20°C) |
| 高温抗弯强度Warmbiegefestigkeit (MPa) | 90-100 (1400°C) |
| 热膨胀系数Wärmeausdehnungskoeffizient bei 1500 °C (10-6/°C) | 4,70 |
| 导热系数Wärmeleitfähigkeit bei 1200 °C (W/m•K) | 23 |
| 杨氏模量Elastizitätsmodul (GPa) | 240 |
| 抗热震性Beständigkeit gegen Temperaturschocks | 很好Äußerst gut |
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