Suscepteur à revêtement TaC pour équipement d'épitaxie

Brève description :

VET propose des revêtements spécialisés en carbure de tantale (TaC) pour divers composants et supports. Le processus de revêtement leader de VET permet aux revêtements en carbure de tantale (TaC) d'atteindre une pureté élevée, une stabilité à haute température et une tolérance chimique élevée, améliorant ainsi la qualité des produits des cristaux SIC/GAN et des couches EPI, et prolongeant la durée de vie des composants clés du réacteur. L'utilisation du revêtement TaC en carbure de tantale vise à résoudre le problème des bords et à améliorer la qualité de la croissance cristalline, et VET a résolu de manière révolutionnaire la technologie de revêtement en carbure de tantale (CVD), atteignant le niveau avancé international.

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Détail du produit

Mots clés du produit

Revêtement TaCle substrat est un film mince constitué decarbure de tantaleMatériau appliqué à la surface du substrat de l'équipement épitaxial.revêtement TaCpossède de nombreuses excellentes propriétés, ce qui en fait un choix idéal.

Le revêtement TaC est une sorte de revêtement en carbure de tantale (TaC) préparé par la technologie de dépôt physique en phase vapeur. Il présente les caractéristiques suivantes :

1. Dureté élevée : la dureté du revêtement TaC est élevée, peut généralement atteindre 2500-3000HV, c'est un excellent revêtement dur.

2. Résistance à l'usure : le revêtement TaC est très résistant à l'usure, ce qui peut réduire efficacement l'usure et les dommages des pièces mécaniques pendant l'utilisation.

3. Bonne résistance aux hautes températures : le revêtement TaC peut également maintenir ses excellentes performances dans un environnement à haute température.

4. Bonne stabilité chimique : le revêtement TaC a une bonne stabilité chimique et peut résister à de nombreuses réactions chimiques, telles que les acides et les bases.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Propriétés physiques de TaC revêtement
密度/ Densité	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Émissivité spécifique	0,3
热膨胀系数 / Coefficient de dilatation thermique	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Dureté (HK)	2000 Hong Kong
电阻 / Résistance	1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Stabilité thermique	<2500℃
石墨尺寸变化 / Modifications de la taille du graphite	-10~-20um
涂层厚度 / Épaisseur du revêtement	Valeur typique ≥20um (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd est une entreprise de haute technologie axée sur la production et la vente de matériaux avancés haut de gamme, de matériaux et de technologies couvrant le graphite, le carbure de silicium, la céramique, le traitement de surface, etc. Les produits sont largement utilisés dans le photovoltaïque, les semi-conducteurs, les nouvelles énergies, la métallurgie, etc.

Notre équipe technique provient des meilleures institutions de recherche nationales et peut vous fournir des solutions matérielles plus professionnelles.

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