Revêtement TaCle substrat est un film mince constitué decarbure de tantaleMatériau appliqué à la surface du substrat de l'équipement épitaxial.revêtement TaCpossède de nombreuses excellentes propriétés, ce qui en fait un choix idéal.
Le revêtement TaC est une sorte de revêtement en carbure de tantale (TaC) préparé par la technologie de dépôt physique en phase vapeur. Il présente les caractéristiques suivantes :
1. Dureté élevée : la dureté du revêtement TaC est élevée, peut généralement atteindre 2500-3000HV, c'est un excellent revêtement dur.
2. Résistance à l'usure : le revêtement TaC est très résistant à l'usure, ce qui peut réduire efficacement l'usure et les dommages des pièces mécaniques pendant l'utilisation.
3. Bonne résistance aux hautes températures : le revêtement TaC peut également maintenir ses excellentes performances dans un environnement à haute température.
4. Bonne stabilité chimique : le revêtement TaC a une bonne stabilité chimique et peut résister à de nombreuses réactions chimiques, telles que les acides et les bases.
碳化钽涂层物理特性物理特性 Propriétés physiques de TaC revêtement | |
密度/ Densité | 14,3 (g/cm³) |
比辐射率 / Émissivité spécifique | 0,3 |
热膨胀系数 / Coefficient de dilatation thermique | 6.3 10-6/K |
努氏硬度/ Dureté (HK) | 2000 Hong Kong |
电阻 / Résistance | 1×10-5 Ohm*cm |
热稳定性 / Stabilité thermique | <2500℃ |
石墨尺寸变化 / Modifications de la taille du graphite | -10~-20um |
涂层厚度 / Épaisseur du revêtement | Valeur typique ≥20um (35um±10um) |
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