Suscepteur revêtu de TaC pour équipement d'épitaxie

Description courte :

VET propose des revêtements spécialisés en carbure de tantale (TaC) pour divers composants et supports. Son procédé de revêtement de pointe permet d'obtenir des revêtements en carbure de tantale (TaC) d'une grande pureté, d'une excellente stabilité thermique et d'une grande tolérance chimique, améliorant ainsi la qualité des cristaux SiC/GAN et des couches EPI, et prolongeant la durée de vie des composants clés des réacteurs. L'utilisation de revêtements en carbure de tantale (TaC) permet de résoudre les problèmes de bordure et d'améliorer la qualité de la croissance cristalline. VET a réalisé une avancée majeure dans le domaine de la technologie de revêtement en carbure de tantale (CVD), atteignant un niveau international de pointe.

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Détails du produit

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Revêtement TaCLe substrat est un film mince constitué decarbure de tantalematériau appliqué à la surface du substrat de l'équipement épitaxial.revêtement TaCpossède de nombreuses excellentes propriétés, ce qui en fait un choix idéal.

Le revêtement TaC est un type de revêtement en carbure de tantale (TaC) préparé par la technologie de dépôt physique en phase vapeur ; il présente les caractéristiques suivantes :

1. Dureté élevée : Le revêtement TaC présente une dureté élevée, pouvant généralement atteindre 2500-3000 HV, ce qui en fait un excellent revêtement dur.

2. Résistance à l'usure : Le revêtement TaC est très résistant à l'usure, ce qui permet de réduire efficacement l'usure et les dommages des pièces mécaniques pendant leur utilisation.

3. Bonne résistance aux hautes températures : le revêtement TaC conserve également ses excellentes performances dans un environnement à haute température.

4. Bonne stabilité chimique : le revêtement TaC possède une bonne stabilité chimique et peut résister à de nombreuses réactions chimiques, telles que les acides et les bases.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Propriétés physiques de TaC revêtement
密度/ Densité	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Émissivité spécifique	0,3
热膨胀系数 / Coefficient de dilatation thermique	6,3 10^-6/K
努氏硬度/ Dureté (HK)	2000 HK
电阻 / Résistance	1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Stabilité thermique	<2500℃
石墨尺寸变化 / Modifications de la taille du graphite	-10 à -20 µm
涂层厚度 / Épaisseur du revêtement	≥20 µm valeur typique (35 µm ±10 µm)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd est une entreprise de haute technologie spécialisée dans la production et la vente de matériaux de pointe, notamment le graphite, le carbure de silicium, la céramique et le traitement de surface. Ses produits sont largement utilisés dans les secteurs du photovoltaïque, des semi-conducteurs, des énergies nouvelles et de la métallurgie.

Notre équipe technique, issue des meilleurs instituts de recherche nationaux, peut vous fournir des solutions matérielles plus professionnelles.

Nous vous invitons chaleureusement à visiter notre usine, pourrons en discuter plus en détail !