Le plateau de chargement VET Energy PECVD est un support de précision conçu pour le procédé PECVD (dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma). Ce plateau de dépôt en graphite de haute qualité est fabriqué à partir d'un matériau graphite de haute pureté et haute densité. Il présente une excellente résistance aux hautes températures et à la corrosion, ainsi qu'une grande stabilité dimensionnelle. Il offre une plateforme stable pour le procédé PECVD et garantit l'uniformité et la planéité du dépôt de film.
Les plateaux de chargement PECVD de VET Energy sont largement utilisés dans les semi-conducteurs, le photovoltaïque, les LED et d'autres domaines. Par exemple :
▪ Semiconducteur : Procédé PECVD pour les matériaux semi-conducteurs tels que les plaquettes de silicium et les plaquettes épitaxiales.
▪ Photovoltaïque : Procédé PECVD pour les couches minces des cellules solaires.
▪ LED : Procédé PECVD pour les puces LED.
Avantages du produit
▪Améliorer la qualité du film :Assurer un dépôt de film uniforme et améliorer la qualité du film.
▪Prolonger la durée de vie des équipements :Excellente résistance à la corrosion, prolongeant la durée de vie des équipements PECVD.
▪Réduire les coûts de production :Les plateaux en graphite de haute qualité permettent de réduire le taux de rebuts et les coûts de production.
Matériau graphite de SGL :
| Paramètre typique : R6510 | |||
| Indice | Norme d'essai | Valeur | Unité |
| granulométrie moyenne | ISO 13320 | 10 | μm |
| densité apparente | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm3 |
| Porosité ouverte | DIN66133 | 10 | % |
| taille des pores moyenne | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Perméabilité | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Dureté Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| résistivité électrique spécifique | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Résistance à la flexion | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Résistance à la compression | DIN 51910 | 130 | MPa |
| module de Young | DIN 51915 | 11,5 × 10³ | MPa |
| Dilatation thermique (20-200℃) | DIN 51909 | 4,2 x 10-6 | K-1 |
| Conductivité thermique (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Elle est spécialement conçue pour la fabrication de cellules solaires à haut rendement, prenant en charge le traitement de plaquettes de grande taille G12. La conception optimisée des supports augmente considérablement le débit, permettant des rendements plus élevés et des coûts de production réduits.
| Article | Taper | porte-plaquettes numéroté |
| Bateau PEVCD Grephite - Série 156 | 156-13 bateau gréphite | 144 |
| 156-19 bateau gréphite | 216 | |
| Bateau gréphite 156-21 | 240 | |
| Bateau en graphite 156-23 | 308 | |
| Bateau PEVCD Grephite - Série 125 | Bateau grephite 125-15 | 196 |
| Bateau grephite 125-19 | 252 | |
| Bateau en graphite 125-21 | 280 |
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