Plateau de chargement PECVD Plateau en graphite de dépôt

Brève description :

Le plateau de chargement PECVD de VET Energy est conçu pour fournir un support sûr et uniforme aux plaquettes pendant le dépôt, améliorant ainsi la cohérence et la qualité du processus de dépôt. Grâce à son excellente résistance à la chaleur, le plateau en graphite aide à maintenir un environnement contrôlé à l'intérieur des chambres PECVD, réduisant ainsi le risque de contamination et garantissant une efficacité élevée du processus.


Détail du produit

Mots clés du produit

Le plateau de chargement VET Energy PECVD est un support de précision conçu pour le processus PECVD (dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma). Ce plateau en graphite de dépôt de haute qualité est fabriqué à partir d'un matériau graphite de haute pureté et haute densité. Il présente une excellente résistance aux températures élevées, une résistance à la corrosion, une stabilité dimensionnelle et d'autres caractéristiques. Il peut fournir une plate-forme de support stable pour le processus PECVD et garantir l'uniformité et la planéité du dépôt du film.

Les plateaux de chargement VET Energy PECVD sont largement utilisés dans les domaines des semi-conducteurs, du photovoltaïque, des LED et autres. Par exemple:

▪ Semi-conducteur : procédé PECVD pour les matériaux semi-conducteurs tels que les plaquettes de silicium et les plaquettes épitaxiales.

▪ Photovoltaïque : procédé PECVD pour les couches minces de cellules solaires.

▪ LED : procédé PECVD pour puces LED.

Avantages du produit

Améliorer la qualité du film :Assurer un dépôt uniforme du film et améliorer la qualité du film.

Prolongez la durée de vie de l'équipement :Excellente résistance à la corrosion, prolonge la durée de vie des équipements PECVD.

Réduire les coûts de production :Les plateaux en graphite de haute qualité peuvent réduire le taux de rebut et réduire les coûts de production.

Matériau graphite de SGL :

Paramètre typique : R6510

Indice Norme d'essai Valeur Unité
Taille moyenne des grains OIN 13320 10 µm
Densité apparente DIN CEI 60413/204 1,83 g/cm3
Porosité ouverte DIN66133 10 %
Pores de taille moyenne DIN66133 1.8 µm
Perméabilité DIN 51935 0,06 cm²/s
Dureté Rockwell HR5/100 DIN CEI60413/303 90 HR
Résistivité électrique spécifique DIN CEI 60413/402 13 μΩm
Résistance à la flexion DIN CEI 60413/501 60 MPa
Résistance à la compression DIN 51910 130 MPa
Module de Young DIN 51915 11,5×10³ MPa
Expansion thermique (20-200 ℃) DIN 51909 4,2X10-6 K-1
Conductivité thermique (20℃) DIN 51908 105 Wm-1K-1

Il est spécialement conçu pour la fabrication de cellules solaires à haut rendement, prenant en charge le traitement des tranches G12 de grande taille. La conception optimisée du transporteur augmente considérablement le débit, permettant des taux de rendement plus élevés et des coûts de production inférieurs.

bateau en graphite
Article Taper Support de plaquette numérotée
Bateau PEVCD Grephite - La série 156 Bateau en graphite 156-13 144
Bateau en graphite 156-19 216
156-21 bateau en graphite 240
Bateau en graphite 156-23 308
Bateau PEVCD Grephite - La série 125 Bateau en graphite 125-15 196
Bateau en graphite 125-19 252
Bateau en graphite 125-21 280
Avantages du produit
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