Le plateau de chargement VET Energy PECVD est un support de précision conçu pour le processus PECVD (dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma). Ce plateau en graphite de dépôt de haute qualité est fabriqué à partir d'un matériau graphite de haute pureté et haute densité. Il présente une excellente résistance aux températures élevées, une résistance à la corrosion, une stabilité dimensionnelle et d'autres caractéristiques. Il peut fournir une plate-forme de support stable pour le processus PECVD et garantir l'uniformité et la planéité du dépôt du film.
Les plateaux de chargement VET Energy PECVD sont largement utilisés dans les domaines des semi-conducteurs, du photovoltaïque, des LED et autres. Par exemple:
▪ Semi-conducteur : procédé PECVD pour les matériaux semi-conducteurs tels que les plaquettes de silicium et les plaquettes épitaxiales.
▪ Photovoltaïque : procédé PECVD pour les couches minces de cellules solaires.
▪ LED : procédé PECVD pour puces LED.
Avantages du produit
▪Améliorer la qualité du film :Assurer un dépôt uniforme du film et améliorer la qualité du film.
▪Prolongez la durée de vie de l'équipement :Excellente résistance à la corrosion, prolonge la durée de vie des équipements PECVD.
▪Réduire les coûts de production :Les plateaux en graphite de haute qualité peuvent réduire le taux de rebut et réduire les coûts de production.
Matériau graphite de SGL :
Paramètre typique : R6510 | |||
Indice | Norme d'essai | Valeur | Unité |
Taille moyenne des grains | OIN 13320 | 10 | µm |
Densité apparente | DIN CEI 60413/204 | 1,83 | g/cm3 |
Porosité ouverte | DIN66133 | 10 | % |
Pores de taille moyenne | DIN66133 | 1.8 | µm |
Perméabilité | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
Dureté Rockwell HR5/100 | DIN CEI60413/303 | 90 | HR |
Résistivité électrique spécifique | DIN CEI 60413/402 | 13 | μΩm |
Résistance à la flexion | DIN CEI 60413/501 | 60 | MPa |
Résistance à la compression | DIN 51910 | 130 | MPa |
Module de Young | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
Expansion thermique (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4,2X10-6 | K-1 |
Conductivité thermique (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Il est spécialement conçu pour la fabrication de cellules solaires à haut rendement, prenant en charge le traitement des tranches G12 de grande taille. La conception optimisée du transporteur augmente considérablement le débit, permettant des taux de rendement plus élevés et des coûts de production inférieurs.
Article | Taper | Support de plaquette numérotée |
Bateau PEVCD Grephite - La série 156 | Bateau en graphite 156-13 | 144 |
Bateau en graphite 156-19 | 216 | |
156-21 bateau en graphite | 240 | |
Bateau en graphite 156-23 | 308 | |
Bateau PEVCD Grephite - La série 125 | Bateau en graphite 125-15 | 196 |
Bateau en graphite 125-19 | 252 | |
Bateau en graphite 125-21 | 280 |