Le porte-substrat en graphite VET Energy est un support de précision conçu pour le procédé PECVD (dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma). Ce porte-substrat en graphite de haute qualité est fabriqué à partir d'un matériau graphite de haute pureté et haute densité, offrant une excellente résistance aux hautes températures et à la corrosion, ainsi qu'une grande stabilité dimensionnelle. Il assure une plateforme de support stable pour le procédé PECVD et garantit l'uniformité et la planéité du dépôt de film.
La table de support de plaquettes en graphite pour procédé PECVD de VET Energy présente les caractéristiques suivantes :
▪Haute pureté :Teneur en impuretés extrêmement faible, évite la contamination du film, garantit sa qualité.
▪Haute densité :haute densité, haute résistance mécanique, peut résister à un environnement PECVD à haute température et haute pression.
▪Bonne stabilité dimensionnelle :Faible variation dimensionnelle à haute température, assurant la stabilité du processus.
▪Excellente conductivité thermique :Transférer efficacement la chaleur pour éviter la surchauffe de la plaquette.
▪Forte résistance à la corrosion :peut résister à l'érosion par divers gaz corrosifs et plasma.
▪Service personnalisé :Des tables de support en graphite de différentes tailles et formes peuvent être personnalisées selon les besoins du client.
Avantages du produit
▪Améliorer la qualité du film :Assurer un dépôt de film uniforme et améliorer la qualité du film.
▪Prolonger la durée de vie des équipements :Excellente résistance à la corrosion, prolongeant la durée de vie des équipements PECVD.
▪Réduire les coûts de production :Les plateaux en graphite de haute qualité permettent de réduire le taux de rebuts et les coûts de production.
Matériau graphite de SGL :
| Paramètre typique : R6510 | |||
| Indice | Norme d'essai | Valeur | Unité |
| granulométrie moyenne | ISO 13320 | 10 | μm |
| densité apparente | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm3 |
| Porosité ouverte | DIN66133 | 10 | % |
| taille des pores moyenne | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Perméabilité | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Dureté Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| résistivité électrique spécifique | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Résistance à la flexion | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Résistance à la compression | DIN 51910 | 130 | MPa |
| module de Young | DIN 51915 | 11,5 × 10³ | MPa |
| Dilatation thermique (20-200℃) | DIN 51909 | 4,2 x 10-6 | K-1 |
| Conductivité thermique (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Elle est spécialement conçue pour la fabrication de cellules solaires à haut rendement, prenant en charge le traitement de plaquettes de grande taille G12. La conception optimisée des supports augmente considérablement le débit, permettant des rendements plus élevés et des coûts de production réduits.
| Article | Taper | porte-plaquettes numéroté |
| Bateau PEVCD Grephite - Série 156 | 156-13 bateau gréphite | 144 |
| 156-19 bateau gréphite | 216 | |
| Bateau gréphite 156-21 | 240 | |
| Bateau en graphite 156-23 | 308 | |
| Bateau PEVCD Grephite - Série 125 | Bateau grephite 125-15 | 196 |
| Bateau grephite 125-19 | 252 | |
| Bateau en graphite 125-21 | 280 |
