Support de plaquette de substrat en graphite pour PECVD

Brève description :

Le support de substrat en graphite de VET Energy est conçu pour maintenir l'alignement et la stabilité des plaquettes tout au long du processus PECVD, empêchant ainsi la contamination et minimisant le risque de dommages. Le support de plaquettes en graphite fournit une plate-forme sécurisée et uniforme, garantissant que les plaquettes sont uniformément exposées au plasma pour un dépôt cohérent et de haute qualité. Avec sa conductivité thermique élevée et sa résistance exceptionnelle, ce support contribue à améliorer l'efficacité globale du processus et les performances du produit.

Envoyez-nous un e-mail Télécharger au format PDF

Détail du produit

Mots clés du produit

Le support de plaquette de substrat en graphite VET Energy est un support de précision conçu pour le processus PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Ce support de substrat en graphite de haute qualité est fabriqué en graphite de haute pureté et haute densité, avec une excellente résistance aux températures élevées, à la corrosion, une stabilité dimensionnelle et d'autres caractéristiques. Il peut fournir une plate-forme de support stable pour le processus PECVD et garantir l'uniformité et la planéité du dépôt du film.

La table de support de tranches de graphite du procédé VET Energy PECVD présente les caractéristiques suivantes :

▪Haute pureté :teneur en impuretés extrêmement faible, évite la contamination du film, garantit la qualité du film.

▪Haute densité :haute densité, haute résistance mécanique, peut résister à un environnement PECVD à haute température et haute pression.

▪Bonne stabilité dimensionnelle :petit changement dimensionnel à haute température, assurant la stabilité du processus.

▪Excellente conductivité thermique :transférer efficacement la chaleur pour éviter la surchauffe des plaquettes.

▪Forte résistance à la corrosion :peut résister à l'érosion par divers gaz corrosifs et plasma.

▪Prestation personnalisée :des tables de support en graphite de différentes tailles et formes peuvent être personnalisées en fonction des besoins du client.

Avantages du produit

▪Améliorer la qualité du film :Assurer un dépôt uniforme du film et améliorer la qualité du film.

▪Prolongez la durée de vie de l'équipement :Excellente résistance à la corrosion, prolonge la durée de vie des équipements PECVD.

▪Réduire les coûts de production :Les plateaux en graphite de haute qualité peuvent réduire le taux de rebut et réduire les coûts de production.

Matériau graphite de SGL :

Paramètre typique : R6510
Indice	Norme d'essai	Valeur	Unité
Taille moyenne des grains	OIN 13320	10	µm
Densité apparente	DIN CEI 60413/204	1,83	g/cm³
Porosité ouverte	DIN66133	10	%
Pores de taille moyenne	DIN66133	1.8	µm
Perméabilité	DIN 51935	0,06	cm²/s
Dureté Rockwell HR5/100	DIN CEI60413/303	90	HR
Résistivité électrique spécifique	DIN CEI 60413/402	13	μΩm
Résistance à la flexion	DIN CEI 60413/501	60	MPa
Résistance à la compression	DIN 51910	130	MPa
Module de Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Expansion thermique (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Conductivité thermique (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Il est spécialement conçu pour la fabrication de cellules solaires à haut rendement, prenant en charge le traitement des tranches G12 de grande taille. La conception optimisée du transporteur augmente considérablement le débit, permettant des taux de rendement plus élevés et des coûts de production inférieurs.

Article	Taper	Support de plaquette numérotée
Bateau PEVCD Grephite - La série 156	Bateau en graphite 156-13	144
	Bateau en graphite 156-19	216
	156-21 bateau en graphite	240
	Bateau en graphite 156-23	308
Bateau PEVCD Grephite - La série 125	Bateau en graphite 125-15	196
	Bateau en graphite 125-19	252
	Bateau en graphite 125-21	280