Palette de manipulation de plaquettes en carbure de silicium durable

vet-china garantit que chaque produit durablePalette de manipulation de plaquettes en carbure de siliciuma d'excellentes performances et durabilité. Cette palette de manipulation de plaquettes en carbure de silicium utilise des processus de fabrication avancés pour garantir que sa stabilité structurelle et sa fonctionnalité restent dans des environnements à haute température et à corrosion chimique. Cette conception innovante offre une excellente prise en charge pour la manipulation des tranches de semi-conducteurs, en particulier pour les opérations automatisées de haute précision.

Pagaie en porte-à-faux SiCest un composant spécialisé utilisé dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs tels que les fours d'oxydation, les fours de diffusion et les fours de recuit. Son utilisation principale est le chargement et le déchargement des plaquettes, le support et le transport des plaquettes pendant les processus à haute température.

Structures communesdeSiCcantileverpbrouiller: une structure en porte-à-faux, fixée à une extrémité et libre à l'autre, a généralement une conception plate et en forme de pagaie.

FonctionnementpprincipedeSiCcantileverpbrouiller:

La palette en porte-à-faux peut se déplacer de haut en bas ou d'avant en arrière dans la chambre du four, elle peut être utilisée pour déplacer les tranches des zones de chargement vers les zones de traitement, ou hors des zones de traitement, en soutenant et en stabilisant les tranches pendant le traitement à haute température.