Palette de manipulation de plaquettes en carbure de silicium durable

Vet-China garantit que chaque produit durablePalette de manipulation de plaquettes en carbure de siliciumCe dispositif de manipulation de plaquettes en carbure de silicium offre d'excellentes performances et une grande durabilité. Fabriqué selon des procédés de pointe, il garantit une stabilité structurelle et une fonctionnalité optimales, même à haute température et en présence de produits chimiques corrosifs. Sa conception innovante assure un support idéal pour la manipulation des plaquettes de semi-conducteurs, notamment pour les opérations automatisées de haute précision.

Palette en porte-à-faux en SiCest un composant spécialisé utilisé dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs tels que les fours d'oxydation, les fours de diffusion et les fours de recuit ; son utilisation principale est le chargement et le déchargement des plaquettes, ainsi que le support et le transport des plaquettes lors des processus à haute température.

Structures communesdeSiCcantileverpbrouiller: Une structure en porte-à-faux, fixée à une extrémité et libre à l'autre, présente généralement une forme plate et en forme de pagaie.

FonctionnementpprincipedeSiCcantileverpbrouiller:

La palette en porte-à-faux peut se déplacer de haut en bas ou d'avant en arrière à l'intérieur de la chambre du four ; elle peut être utilisée pour déplacer les plaquettes des zones de chargement vers les zones de traitement, ou hors des zones de traitement, en soutenant et en stabilisant les plaquettes pendant le traitement à haute température.