L'avancéPagaie en porte-à-faux SiCfor Wafer Processing créé par vet-china constitue une excellente solution pour la fabrication de semi-conducteurs. Cette pagaie en porte-à-faux est fabriquée en SiC (carbure de silicium), et sa dureté élevée et sa résistance à la chaleur lui permettent de maintenir d'excellentes performances dans des environnements à haute température et corrosifs. La conception de la palette en porte-à-faux permet à la plaquette d'être soutenue de manière fiable pendant le traitement, réduisant ainsi le risque de fragmentation et de dommages.
Pagaie en porte-à-faux SiCest un composant spécialisé utilisé dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs tels que les fours d'oxydation, les fours de diffusion et les fours de recuit. Son utilisation principale est le chargement et le déchargement des plaquettes, le support et le transport des plaquettes pendant les processus à haute température.
Structures communesdeSiCcantileverpbrouiller: une structure en porte-à-faux, fixée à une extrémité et libre à l'autre, a généralement une conception plate et en forme de pagaie.
VET Energy utilise des matériaux en carbure de silicium recristallisé de haute pureté pour garantir la qualité.
| Propriétés physiques du carbure de silicium recristallisé | |
| Propriété | Valeur typique |
| Température de travail (°C) | 1600°C (avec oxygène), 1700°C (environnement réducteur) |
| Contenu SiC | > 99,96% |
| Contenu Si gratuit | < 0,1% |
| Densité apparente | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Porosité apparente | < 16% |
| Résistance à la compression | > 600MPa |
| Résistance à la flexion à froid | 80-90 MPa (20°C) |
| Résistance à la flexion à chaud | 90-100 MPa (1 400 °C) |
| Dilatation thermique à 1 500 °C | 4,70 10-6/°C |
| Conductivité thermique à 1200°C | 23W/m•K |
| Module élastique | 240 GPa |
| Résistance aux chocs thermiques | Extrêmement bien |
Les avantages de la palette en porte-à-faux SiC avancée de VET Energy pour le traitement des plaquettes sont :
-Stabilité à haute température : utilisable dans des environnements supérieurs à 1600°C ;
-Faible coefficient de dilatation thermique : maintient la stabilité dimensionnelle, réduisant ainsi le risque de déformation des plaquettes ;
-Haute pureté : risque moindre de contamination par les métaux ;
-Inertie chimique : résistant à la corrosion, adapté à divers environnements gazeux ;
-Haute résistance et dureté : résistant à l'usure, longue durée de vie ;
-Bonne conductivité thermique : aide au chauffage uniforme des plaquettes.
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