Palette cantilever en SiC avancée pour le traitement des plaquettes

Palette en porte-à-faux en SiC de pointe pour le traitement des plaquettes (Image mise en avant)

Description courte :

La palette cantilever en SiC de pointe pour le traitement des plaquettes, lancée par Vet-China, utilise des matériaux SiC de haute technologie pour améliorer l'efficacité et la précision du traitement des plaquettes. Cette palette cantilever offre une excellente résistance à la chaleur et à la corrosion, garantissant une manipulation stable des plaquettes même dans des environnements de production difficiles, ce qui en fait un choix idéal pour optimiser le rendement de production.

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L'avancéPalette en porte-à-faux en SiCLe support en porte-à-faux pour le traitement des plaquettes, conçu par Vet-China, offre une solution optimale pour la fabrication de semi-conducteurs. Fabriqué en carbure de silicium (SiC), ce support se distingue par sa dureté et sa résistance à la chaleur élevées, lui permettant de maintenir d'excellentes performances même à haute température et en environnements corrosifs. Sa conception assure un support fiable de la plaquette pendant le traitement, réduisant ainsi les risques de fragmentation et d'endommagement.

Palette en porte-à-faux en SiCest un composant spécialisé utilisé dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs tels que les fours d'oxydation, les fours de diffusion et les fours de recuit ; son utilisation principale est le chargement et le déchargement des plaquettes, ainsi que le support et le transport des plaquettes lors des processus à haute température.

Structures communesdeSiCcantileverpbrouiller: Une structure en porte-à-faux, fixée à une extrémité et libre à l'autre, présente généralement une forme plate et en forme de pagaie.

VET Energy utilise des matériaux en carbure de silicium recristallisé de haute pureté pour garantir la qualité.

Propriétés physiques du carbure de silicium recristallisé
Propriété	Valeur typique
Température de fonctionnement (°C)	1600°C (avec oxygène), 1700°C (milieu réducteur)
teneur en SiC	> 99,96%
Contenu Si gratuit	< 0,1%
densité apparente	2,60-2,70 g/cm³
Porosité apparente	< 16%
Résistance à la compression	> 600MPa
résistance à la flexion à froid	80-90 MPa (20°C)
résistance à la flexion à chaud	90-100 MPa (1400 °C)
Dilatation thermique à 1500 °C	4,70 10^-6/°C
Conductivité thermique à 1200 °C	23W/m•K
module d'élasticité	240 GPa
résistance aux chocs thermiques	Extrêmement bon