Élément chauffant en alumine AlN pour plaquette chauffante en céramique

Élément chauffant en alumine AlN pour plaquette chauffante en céramique
Dans la fabrication des semi-conducteurs, les plaquettes doivent être traitées par divers procédés, tels que le dépôt de couches minces, la gravure, etc. À ces étapes, les plaquettes doivent être chauffées à une certaine température, et les exigences en matière de température sont strictes, car l'uniformité de la température a un impact très important sur le rendement du produit, et les composants de chauffage sont indispensables.

Chauffage en céramiqueCes supports sont directement appliqués à la chambre de traitement et en contact direct avec la plaquette. Ils supportent la plaquette et garantissent une température de traitement stable et uniforme. Ce sont des composants essentiels des équipements de dépôt de couches minces pour semi-conducteurs !

L'élément chauffant en céramique comprend une base en céramique supportant la plaquette et un corps de support cylindrique à l'arrière. Outre l'élément résistif (couche chauffante), la base en céramique comporte des électrodes radiofréquences (couche RF) intégrées ou situées à sa surface. Pour un chauffage et un refroidissement rapides, l'épaisseur de la base doit être faible, mais une épaisseur excessive compromet sa rigidité.

Le support de l'élément chauffant en céramique est généralement fabriqué dans un matériau céramique dont le coefficient de dilatation thermique est similaire à celui de la base. L'élément chauffant adopte une structure unique avec un joint d'arbre à sa base afin de protéger les bornes et les fils des effets du plasma et des gaz chimiques corrosifs. Le support est équipé d'un conduit d'entrée et de sortie de gaz caloporteur pour assurer une température uniforme de l'élément chauffant. La base et le support sont liés chimiquement par une couche de liaison.

L'élément chauffant en céramique peut être fabriqué à partir de céramiques telles que le nitrure d'aluminium (AlN), le nitrure de silicium (Si3N4) et l'alumine (Al2O3). Parmi celles-ci, l'AlN est le matériau de choix pour les éléments chauffants en céramique. Comparée à d'autres matériaux, la céramique AlN de VET Energy présente les caractéristiques suivantes :
(1) Bonne conductivité thermique ;
(2) Coefficient de dilatation thermique adapté aux matériaux semi-conducteurs en silicium ;
(3) De bonnes propriétés mécaniques, une excellente résistance à l'usure et des propriétés mécaniques globales sont meilleures que l'oxyde de béryllium et équivalentes à l'oxyde d'aluminium ;
(4) Excellentes propriétés électriques globales, excellente isolation électrique et faibles pertes diélectriques ;
(5) Non toxique et respectueux de l'environnement.