Wafer-Suszeptor mit TaC-Beschichtung für G5 G10

Kurze Beschreibung:

Semicera ist führend in der Halbleiterindustrie mit einer innovativen Produktlinie aus Tantalkarbid (TaC), um den immer strengeren Anforderungen an Halbleiterprozesse gerecht zu werden.Ganz gleich, ob bei epitaktischen Prozesstemperaturen über 2000 Grad Celsius oder bei Sublimationsproblemen bei herkömmlichen Materialien, unser CvD-Tantalkarbid (TaC) stellt eine zuverlässige Lösung dar.Unsere Produkte halten extremen Temperaturen bis zu 2300 Grad Celsius stand und bieten eine hervorragende Lebensdauer.Wenn Sie Semicera kontaktieren, können Sie mehr über unsere fortschrittlichen Lösungen erfahren, einschließlich maßgeschneiderter Optionen für mit Tantalkarbid beschichtete Abdeckplatten.Wir sind bestrebt, zuverlässigen Schutz und hervorragende Leistung für Ihren Halbleiterprozess zu bieten, damit Sie auf dem hart umkämpften Markt erfolgreich sein können.

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Produktdetail

Produkt Tags

Die TaC-Beschichtung ist eine Art Tantalkarbid (TaC)-Beschichtung, die durch physikalische Gasphasenabscheidungstechnologie hergestellt wird und die folgenden Eigenschaften aufweist:

1. Hohe Härte: Die TaC-Beschichtungshärte ist hoch, kann normalerweise 2500–3000 HV erreichen und ist eine ausgezeichnete Hartbeschichtung.

2. Verschleißfestigkeit: Die TaC-Beschichtung ist sehr verschleißfest, wodurch der Verschleiß und die Beschädigung mechanischer Teile während des Gebrauchs wirksam reduziert werden können.

3. Gute Hochtemperaturbeständigkeit: Die TaC-Beschichtung kann ihre hervorragende Leistung auch in Umgebungen mit hohen Temperaturen beibehalten.

4. Gute chemische Stabilität: Die TaC-Beschichtung weist eine gute chemische Stabilität auf und kann vielen chemischen Reaktionen wie Säuren und Basen widerstehen.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Physikalische Eigenschaften von TaC Beschichtung
密度/ Dichte	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Spezifischer Emissionsgrad	0,3
热膨胀系数 / Wärmeausdehnungskoeffizient	6,3 10^-6/K
努氏硬度/ Härte (HK)	2000 HK
电阻 / Widerstand	1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Thermische Stabilität	<2500℃
石墨尺寸变化 / Graphitgrößenänderungen	-10~-20um
涂层厚度 / Beschichtungsdicke	≥20um typischer Wert (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd ist ein High-Tech-Unternehmen, das sich auf die Produktion und den Vertrieb hochwertiger fortschrittlicher Materialien konzentriert. Die Materialien und Technologien umfassen Graphit, Siliziumkarbid, Keramik, Oberflächenbehandlung usw.Die Produkte werden häufig in den Bereichen Photovoltaik, Halbleiter, neue Energie, Metallurgie usw. eingesetzt.

Unser technisches Team stammt aus führenden inländischen Forschungseinrichtungen und kann professionellere Materiallösungen für Sie bereitstellen.

Wir heißen Sie herzlich willkommen, unsere Fabrik zu besuchen. Lassen Sie uns weitere Gespräche führen!