DerCVD-TaC-beschichtetDer Plattensuszeptor von vet-china wurde für hohe Leistung bei chemischen Gasphasenabscheidungsprozessen (CVD) entwickelt. Dieser Suszeptor ist robustTaC-Beschichtung (Tantalkarbid).Es bietet außergewöhnliche thermische Stabilität, chemische Beständigkeit und Haltbarkeit und ist damit eine ideale Lösung für die Halbleiterfertigung und Hochtemperaturanwendungen. DerCVD-TaC-Beschichtunggewährleistet eine hervorragende Oxidations- und Verschleißbeständigkeit, sodass der Suszeptor seine Integrität und Funktion auch in rauen Umgebungen beibehält.
Veterinär-ChinaCVD-TaC-beschichtetPlate Susceptor zeichnet sich durch seine Fähigkeit aus, die Wärme während CVD-Prozessen gleichmäßig zu verteilen, wodurch eine präzise Schichtabscheidung gewährleistet und die Effizienz der Halbleiterfertigung gesteigert wird. Die Ta-C-Beschichtung bietet zusätzlichen Schutz vor chemischer Korrosion, verlängert die Lebensdauer des Suszeptors und verbessert die Gesamtleistung. Mit einer Kombination aus fortschrittlicher CVD-Suszeptortechnologie und hochwertigen chemischen TaC-Beschichtungen ist dieser Suszeptor eine Schlüsselkomponente für Branchen, die Präzision und Zuverlässigkeit in Hochtemperaturumgebungen erfordern.
Ob bei der Herstellung von Halbleitern oder anderen High-Tech-Anwendungen, dieCVD-TaC-beschichteter Plattensuszeptorist auf die Anforderungen der modernen Fertigung ausgelegt. Gestützt auf Semiceras Ruf für Innovation und Qualität bietet dieses Produkt überragende Leistung und lange Haltbarkeit, was es zu einer zuverlässigen Wahl für CVD-Prozesse macht.
Die TaC-Beschichtung ist eine Art Tantalkarbid (TaC)-Beschichtung, die durch physikalische Gasphasenabscheidungstechnologie hergestellt wird und die folgenden Eigenschaften aufweist:
1. Hohe Härte: Die Härte der TaC-Beschichtung ist hoch, kann normalerweise 2500–3000 HV erreichen und ist eine ausgezeichnete Hartbeschichtung.
2. Verschleißfestigkeit: Die TaC-Beschichtung ist sehr verschleißfest, wodurch der Verschleiß und die Beschädigung mechanischer Teile während des Gebrauchs wirksam reduziert werden können.
3. Gute Hochtemperaturbeständigkeit: Die TaC-Beschichtung kann ihre hervorragende Leistung auch in Umgebungen mit hohen Temperaturen beibehalten.
4. Gute chemische Stabilität: Die TaC-Beschichtung weist eine gute chemische Stabilität auf und kann vielen chemischen Reaktionen wie Säuren und Basen widerstehen.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Physikalische Eigenschaften von TaC Beschichtung | |
| 密度/ Dichte | 14,3 (g/cm³) |
| 比辐射率 / Spezifischer Emissionsgrad | 0,3 |
| 热膨胀系数 / Wärmeausdehnungskoeffizient | 6,3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Härte (HK) | 2000 HK |
| 电阻 / Widerstand | 1×10-5 Ohm*cm |
| 热稳定性 / Thermische Stabilität | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 / Graphitgrößenänderungen | -10~-20um |
| 涂层厚度 / Schichtdicke | ≥20um typischer Wert (35um±10um) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd ist ein High-Tech-Unternehmen, das sich auf die Produktion und den Vertrieb hochwertiger fortschrittlicher Materialien konzentriert. Die Materialien und Technologien umfassen Graphit, Siliziumkarbid, Keramik, Oberflächenbehandlung usw. Die Produkte werden häufig in den Bereichen Photovoltaik, Halbleiter, neue Energie, Metallurgie usw. eingesetzt.
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