DerCVD TaC-beschichtetDer Plattensuszeptor von vet-china ist für hohe Leistung in CVD-Prozessen (chemische Gasphasenabscheidung) konzipiert. Dieser Suszeptor zeichnet sich durch eine robuste Konstruktion aus.TaC (Tantalcarbid)-BeschichtungEs bietet außergewöhnliche thermische Stabilität, chemische Beständigkeit und Langlebigkeit und ist somit eine ideale Lösung für die Halbleiterfertigung und Hochtemperaturanwendungen.CVD-TaC-Beschichtunggewährleistet eine ausgezeichnete Beständigkeit gegen Oxidation und Verschleiß, sodass der Suszeptor seine Integrität und Funktion auch unter rauen Umgebungsbedingungen beibehält.
vet-china'sCVD TaC-beschichtetDer Plattensuszeptor zeichnet sich durch seine Fähigkeit aus, Wärme während CVD-Prozessen gleichmäßig zu verteilen. Dies gewährleistet eine präzise Schichtabscheidung und steigert die Effizienz der Halbleiterfertigung. Die Ta-C-Beschichtung bietet zusätzlichen Schutz vor chemischer Korrosion, verlängert die Lebensdauer des Suszeptors und verbessert die Gesamtleistung. Dank der Kombination aus fortschrittlicher CVD-Suszeptortechnologie und hochwertigen Ta-C-Beschichtungen ist dieser Suszeptor eine Schlüsselkomponente für Branchen, die Präzision und Zuverlässigkeit in Hochtemperaturumgebungen erfordern.
Ob bei der Halbleiterproduktion oder anderen Hightech-Anwendungen eingesetzt,CVD TaC-beschichtete PlattensuszeptorEs wurde entwickelt, um den Anforderungen der modernen Fertigung gerecht zu werden. Dank Semiceras Ruf für Innovation und Qualität bietet dieses Produkt überragende Leistung und lange Lebensdauer und ist somit eine zuverlässige Wahl für CVD-Prozesse.
Die TaC-Beschichtung ist eine Art Tantalcarbid (TaC)-Beschichtung, die mittels physikalischer Gasphasenabscheidung hergestellt wird und folgende Eigenschaften aufweist:
1. Hohe Härte: Die Härte der TaC-Beschichtung ist hoch und erreicht üblicherweise 2500-3000 HV; sie ist eine ausgezeichnete Hartbeschichtung.
2. Verschleißfestigkeit: Die TaC-Beschichtung ist sehr verschleißfest, wodurch der Verschleiß und die Beschädigung von mechanischen Teilen während des Gebrauchs wirksam reduziert werden können.
3. Gute Hochtemperaturbeständigkeit: Die TaC-Beschichtung behält ihre hervorragende Leistungsfähigkeit auch unter hohen Temperaturen bei.
4. Gute chemische Stabilität: Die TaC-Beschichtung weist eine gute chemische Stabilität auf und ist beständig gegen viele chemische Reaktionen, wie z. B. Säuren und Basen.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Physikalische Eigenschaften von TaC Beschichtung | |
| 密度/ Dichte | 14,3 (g/cm³) |
| 比辐射率 / Spezifische Emissionsfähigkeit | 0,3 |
| 热膨胀系数 / Wärmeausdehnungskoeffizient | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Härte (HK) | 2000 HK |
| 电阻 / Widerstand | 1×10-5 Ohm*cm |
| 热稳定性 / Thermische Stabilität | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 / Graphitgrößenänderungen | -10 bis -20 µm |
| 涂层厚度 / Beschichtungsdicke | ≥20µm typischer Wert (35µm±10µm) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. ist ein Hightech-Unternehmen, das sich auf die Produktion und den Vertrieb von hochentwickelten Materialien spezialisiert hat. Das Material- und Technologieportfolio umfasst Graphit, Siliciumcarbid, Keramik, Oberflächenbehandlung und vieles mehr. Die Produkte finden breite Anwendung in der Photovoltaik, der Halbleiterindustrie, der erneuerbaren Energien, der Metallurgie und weiteren Bereichen.
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