Kundenspezifische Graphitheizung für Halbleiter-Siliziumwafer, SiC-Beschichtung

Kurzbeschreibung:

Technische Spezifikation

VET-M3

Schüttdichte (g/cm3)

≥1,85

Aschegehalt (PPM)

≤500

Shore-Härte

≥45

Spezifischer Widerstand (μ.Ω.m)

≤12

Biegefestigkeit (Mpa)

≥40

Druckfestigkeit (Mpa)

≥70

Max. Korngröße (μm)

≤43

Wärmeausdehnungskoeffizient Mm/°C

≤4,4*10-6


Produktdetails

Produkt-Tags

Technische Spezifikation

VET-M3

Schüttdichte (g/cm3)

≥1,85

Aschegehalt (PPM)

≤500

Shore-Härte

≥45

Spezifischer Widerstand (μ.Ω.m)

≤12

Biegefestigkeit (Mpa)

≥40

Druckfestigkeit (Mpa)

≥70

Max. Korngröße (μm)

≤43

Wärmeausdehnungskoeffizient Mm/°C

≤4,4*10-6

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Maßgeschneiderte Graphitheizung für Halbleiter-Siliziumwafer

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Maßgeschneiderte Graphitheizung für Halbleiter-Siliziumwafer


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