MaßgeschneidertGraphitheizung für Halbleiter-Siliziumwafer
Technische Spezifikation | VET-M3 |
Schüttdichte (g/cm3) | ≥1,85 |
Aschegehalt (PPM) | ≤500 |
Shore-Härte | ≥45 |
Spezifischer Widerstand (μ.Ω.m) | ≤12 |
Biegefestigkeit (Mpa) | ≥40 |
Druckfestigkeit (Mpa) | ≥70 |
Max. Korngröße (μm) | ≤43 |
Wärmeausdehnungskoeffizient Mm/°C | ≤4,4*10-6
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