Keramisches Wafer-Heizelement aus Aluminiumoxid (AlN)
In der Halbleiterfertigung müssen Wafer in verschiedenen Prozessen bearbeitet werden, wie z. B. Dünnschichtabscheidung, Ätzen usw. Dabei müssen die Wafer auf eine bestimmte Temperatur erhitzt werden, wobei strenge Anforderungen an die Temperatur gestellt werden, da die Temperaturhomogenität einen sehr wichtigen Einfluss auf die Produktausbeute hat und Heizkomponenten unverzichtbar sind.
KeramikheizungSie werden direkt in die Prozesskammer eingesetzt und stehen in direktem Kontakt mit dem Wafer. Sie tragen nicht nur den Wafer, sondern gewährleisten auch eine stabile und gleichmäßige Prozesstemperatur. Sie sind Schlüsselkomponenten in Anlagen zur Halbleiter-Dünnschichtabscheidung!
Der Keramikheizer besteht aus einer Keramikbasis, die den Wafer trägt, und einem zylindrischen Trägerkörper auf der Rückseite. Neben dem Heizelement (Heizschicht) befinden sich in oder auf der Oberfläche der Keramikbasis Hochfrequenzelektroden (HF-Schicht). Um ein schnelles Aufheizen und Abkühlen zu ermöglichen, sollte die Keramikbasis dünn sein; eine zu geringe Dicke verringert jedoch die Stabilität.
Die Halterung des Keramikheizelements besteht in der Regel aus Keramik mit einem ähnlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten wie der Sockel. Das Heizelement verfügt über eine spezielle Konstruktion mit einem Wellengelenk am Boden, um die Anschlüsse und Leitungen vor den Einflüssen von Plasma und korrosiven Gasen zu schützen. Die Halterung ist mit einem Wärmeübertragungs-Gaseinlass- und -auslassrohr ausgestattet, um eine gleichmäßige Temperaturverteilung im Heizelement zu gewährleisten. Sockel und Halterung sind durch eine Klebeschicht chemisch verbunden.
Die Keramikheizung kann aus Keramikmaterialien wie Aluminiumnitrid (AlN), Siliziumnitrid (Si₃N₄) und Aluminiumoxid (Al₂O₃) hergestellt werden. AlN ist dabei die beste Wahl für Keramikheizungen. Im Vergleich zu anderen Materialien weist die AlN-Keramik von VET Energy folgende Eigenschaften auf:
(1) Gute Wärmeleitfähigkeit;
(2) Angepasster Wärmeausdehnungskoeffizient an Halbleiter-Siliziummaterialien;
(3) Gute mechanische Eigenschaften, ausgezeichnete Verschleißfestigkeit und umfassende mechanische Eigenschaften sind besser als die von Berylliumoxid und gleichwertig mit denen von Aluminiumoxid;
(4) Ausgezeichnete elektrische Eigenschaften, hervorragende elektrische Isolation und geringe dielektrische Verluste;
(5) Ungiftig und umweltfreundlich.
Datenblatt für keramische Werkstoffe
| Artikel | 95% Aluminiumoxid | 99% Aluminiumoxid | Zirkonoxid | Siliciumcarbid | SiliziumNitride | AluminiumNitride |
| Farbe | Weiß | Hellgelb | Weiß | Schwarz | Schwarz | grau |
| Dichte (g/cm3) | 3,7 g/cm³ | 3,9 g/cm³ | 6,02 g/cm³ | 3,2 g/cm³ | 3,25 g/cm³ | 3,2 g/cm³ |
| Wasseraufnahme | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Härte (HV) | 23,7 | 23,7 | 16,5 | 33 | 20 | - |
| Biegefestigkeit (MPa) | 300 MPa | 400 MPa | 1100 MPa | 450 MPa | 800 MPa | 310 MPa |
| Druckfestigkeit (MPa) | 2500 MPa | 2800 MPa | 3600 MPa | 2000 MPa | 2600 MPa | - |
| Elastizitätsmodul (Young-Modul) | 300 GPa | 300 GPa | 320 GPa | 450 GPa | 290 GPa | 310–350 GPa |
| Poisson-Verhältnis | 0,23 | 0,23 | 0,25 | 0,14 | 0,24 | 0,24 |
| Wärmeleitfähigkeit | 20 W/m°C | 32 W/m°C | 3W/m°C | 50 W/m°C | 25 W/m°C | 150 W/m°C |
| Durchschlagsfestigkeit | 14 kV/mm | 14 kV/mm | 14 kV/mm | 14 kV/mm | 14 kV/mm | 14 kV/mm |
| Volumenspezifischer Widerstand (25℃) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
VET Energy ist ein professioneller Hersteller, der sich auf die Forschung und Entwicklung sowie die Produktion von hochwertigen, fortschrittlichen Materialien wie Graphit, Siliciumcarbid und Quarz sowie auf Materialbehandlungen wie SiC-Beschichtung, TaC-Beschichtung, Glaskohlenstoffbeschichtung, pyrolytische Kohlenstoffbeschichtung usw. spezialisiert hat. Die Produkte finden breite Anwendung in der Photovoltaik, der Halbleiterindustrie, der neuen Energiewirtschaft, der Metallurgie usw.
Unser technisches Team stammt von führenden inländischen Forschungseinrichtungen und kann Ihnen daher professionellere Materiallösungen anbieten.
Zu den Vorteilen von VET Energy gehören:
• Eigene Fabrik und professionelles Labor;
• Branchenführende Reinheit und Qualität;
• Wettbewerbsfähiger Preis & Schnelle Lieferzeit;
• Zahlreiche Branchenpartnerschaften weltweit;
Wir freuen uns, Sie jederzeit in unserer Fabrik und unserem Labor begrüßen zu dürfen!
