4 tum GaN på SiC Wafer

Kort beskrivning:

VET Energys 4-tums GaN på SiC-skiva är en revolutionerande produkt inom kraftelektronikområdet. Denna wafer kombinerar den utmärkta värmeledningsförmågan hos kiselkarbid (SiC) med den höga effekttätheten och låga förlusten av galliumnitrid (GaN), vilket gör den till ett idealiskt val för tillverkning av högfrekventa enheter med hög effekt. VET Energy säkerställer den utmärkta prestandan och konsistensen hos wafern genom avancerad MOCVD-epitaxialteknologi.


Produktdetaljer

Produkttaggar

VET Energys produktlinje är inte begränsad till GaN på SiC-skivor. Vi tillhandahåller också ett brett utbud av halvledarsubstratmaterial, inklusive Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer, etc. Dessutom utvecklar vi också aktivt nya halvledarmaterial med breda bandgap, såsom Gallium Oxide Ga2O3 och AlN Wafer, för att möta den framtida kraftelektronikindustrins efterfrågan på enheter med högre prestanda.

VET Energy tillhandahåller flexibla anpassningstjänster och kan anpassa GaN epitaxiella lager av olika tjocklekar, olika typer av dopning och olika waferstorlekar efter kundernas specifika behov. Dessutom tillhandahåller vi även professionell teknisk support och eftermarknadsservice för att hjälpa kunder att snabbt utveckla högpresterande kraftelektroniska enheter.

第6页-36
第6页-35

SPECIFIKATIONER FÖR WAFERING

*n-Pm=n-typ Pm-Grade,n-Ps=n-typ Ps-Grade,Sl=Halvisolerande

Punkt

8-tums

6-tums

4-tums

nP

n-Pm

n-Ps

SI

SI

TTV(GBIR)

≤6um

≤6um

Bow(GF3YFCD)-Absolut värde

≤15μm

≤15μm

≤25μm

≤15μm

Warp(GF3YFER)

≤25μm

≤25μm

≤40μm

≤25μm

LTV(SBIR)-10mmx10mm

<2μm

Wafer Edge

Fasning

YTBEHANDLING

*n-Pm=n-typ Pm-Grade,n-Ps=n-typ Ps-Grade,Sl=Halvisolerande

Punkt

8-tums

6-tums

4-tums

nP

n-Pm

n-Ps

SI

SI

Ytfinish

Dubbelsidig Optisk Polish, Si- Face CMP

Ytråhet

(10um x 10um) Si-FaceRa≤0,2nm
C-Face Ra≤ 0,5nm

(5umx5um) Si-Face Ra≤0,2nm
C-Face Ra≤0,5nm

Edge Chips

Ingen tillåten (längd och bredd≥0,5 mm)

Indrag

Ingen tillåten

Repor (Si-Face)

Antal.≤5, Kumulativ
Längd≤0,5×wafer diameter

Antal.≤5, Kumulativ
Längd≤0,5×wafer diameter

Antal.≤5, Kumulativ
Längd≤0,5×wafer diameter

Sprickor

Ingen tillåten

Kantexkludering

3 mm

tech_1_2_size
下载 (2)

  • Tidigare:
  • Nästa:

  • WhatsApp onlinechatt!