Kiselkarbidbelagt grafitsubstrat för halvledare, MOCVD-susceptor

Kort beskrivning:

VET Energy SiC Coated Susceptor är en högpresterande produkt designad för att ge konsekvent och pålitlig prestanda under en längre period. Den har superbra värmebeständighet och termisk enhetlighet, hög renhet, erosionsbeständighet, vilket gör den till den perfekta lösningen för waferbearbetningstillämpningar.

Ursprungsort:Zhejiang, Kina (fastlandet)

Modellnummer:Modellnummer:

Kemisk sammansättning:SiC-belagd grafit

Böjhållfasthet:470Mpa

Värmeledningsförmåga:300 W/mK

Kvalitet:Perfekt

Fungera:CVD-SiC

Ansökan:Halvledare/fotovoltaisk

Densitet:3,21 g/cc

Termisk expansion:4 10-6/K

Aska: <5 ppm

Prov:Tillgänglig

HS-kod:6903100000

Skicka e-post till oss Ladda ner som PDF

Produktdetaljer

Produkttaggar

VET Energy SiC Coated Susceptorär en högpresterande lösning noggrant utformad för att leverera tillförlitlig, konsekvent prestanda under en längre livslängd, som uppfyller de rigorösa kraven för tillverkning av halvledarprodukter. Med exceptionell värmebeständighet, överlägsen termisk enhetlighet och hög renhet, är denna produkt idealisk för MOCVD wafer-bärare och andra wafer-bearbetningsapplikationer som kräver stabilitet och precision. Dess robusta erosionsbeständighet gör den till ett premiumval för miljöer där hållbarhet och kemisk motståndskraft är avgörande.

VårSiC-belagd grafitsusceptorstår som en kritisk komponent i halvledartillverkningsprocessen, och utnyttjar VET Energys exklusiva patenterade teknologi för att uppnå extremt hög renhet, överlägsen beläggningslikformighet och anmärkningsvärd termisk stabilitet. Beläggningen förstärker grafitsubstratet med hög kemikaliebeständighet och avsevärt förlängd livslängd. VET Energys engagemang för kvalitet har resulterat i en SiC-belagd susceptor som möter de växande behoven på marknaden för grafitwaferbärare, vilket sätter en hög standard för SiC-belagda grafitsusceptorer som används iMOCVD-processer.

Nyckelegenskaper hos SiC-belagda susceptorer:

1. Oxidationsbeständighet vid hög temperatur:Tål temperaturer upp till 1700 ℃, vilket gör den lämplig för extrema bearbetningsförhållanden.

2. Hög renhet och termisk enhetlighet:Säkerställer konsekventa resultat, avgörande förMOCVD-susceptoreroch andra precisionstillämpningar.

3. Utmärkt korrosionsbeständighet:Motståndskraftig mot syra, alkali, salt och olika organiska reagenser.

4. Förbättrad ythårdhet:Kompakt yta med fina partiklar som ger högre hållbarhet och livslängd.

5. Förlängd livslängd:Konstruerad för uthållig prestanda, överträffar standard kiselkarbidbelagda susceptorer i tuffa bearbetningsmiljöer.

Som en ledande tillverkare är VET Energy specialiserat på kundanpassad grafit ochkiselkarbidproduktermed olika beläggningsalternativ, bl.aSiC-beläggning, TaC-beläggning, glasartad kolbeläggningoch pyrolytisk kolbeläggning. Vi betjänar stolt halvledar- och solcellsindustrin och levererar kiselkarbidbelagda grafitsusceptorer som uppfyller specifika operativa krav.

Vårt tekniska team, med erfarenhet från främsta inhemska forskningsinstitutioner, är dedikerade till att utveckla materiallösningar för de växande behoven hosSiC-belagd grafitsusceptormarknadsföra. Genom vår patenterade process har VET Energy utvecklat unik teknologi som avsevärt förbättrar bindningsstyrkan mellan kiselkarbidbeläggningen och substratet, vilket minskar risken för lossning och förbättrar den långsiktiga tillförlitligheten.

Tillämpningar och fördelar inom halvledarbearbetning

DeSiC-beläggning för MOCVDmöjliggörgrafit susceptorkomponenter för att bibehålla integriteten under hög temperatur och korrosiva miljöer, vilket är avgörande för precision halvledarproduktion. Dessa SiC-belagda grafitkomponenter är särskilt värderade i processer som kräver kiselkarbidbelagda susceptorer förgrafitwaferbärare, som kräver hög termisk stabilitet, renhet och motståndskraft mot kemisk erosion.

Med våra avancerade kiselkarbidbeläggningstekniker fortsätter VET Energy att stödja marknaden för bärare för grafitwafer genom att leverera skräddarsydda, högpresterandeSiC-belagda grafitsusceptorersom tar itu med branschspecifika utmaningar, från MOCVD-processer till applikationer med hög renhet inom halvledarområdet.