MOCVD substratvärmare, värmeelement för MOCVD

Kort beskrivning:

Kemisk grafit

Fördel: Hög temperaturbeständighet

Användning: MOCVD/Vacuumugn/Hot Zone

Bulkdensitet: 1,68-1,91 g/cm3

Böjhållfasthet: 30-46Mpa

Resistivitet:7-12μΩm

Skicka e-post till oss Ladda ner som PDF

Produktdetaljer

Produkttaggar

MOCVD substratvärmare, värmeelement för MOCVD

Grafitvärmare:
Grafitvärmarkomponenterna används i högtemperaturugnen med en temperatur på 2200 grader i vakuummiljö och 3000 grader i den deoxiderade och införda gasmiljön.
Huvudfunktioner hos grafitvärmare:
1. enhetlighet för värmestruktur.
2. god elektrisk ledningsförmåga och hög elektrisk belastning.
3. korrosionsbeständighet.
4. inoxiderbarhet.
5. hög kemisk renhet.
6. hög mekanisk hållfasthet.
Fördelen är energieffektiv, högt värde och lågt underhåll.
Vi kan producera antioxidations- och grafitdegel med lång livslängd, grafitform och alla delar av grafitvärmare.
Huvudparametrar för grafitvärmare:

Teknisk specifikation	VET-M3
Bulkdensitet (g/cm3)	≥1,85
Askinnehåll (PPM)	≤500
Shore hårdhet	≥45
Specifik resistans (μ.Ω.m)	≤12
Flexural Strength (Mpa)	≥40
Kompressionsstyrka (Mpa)	≥70
Max. Kornstorlek (μm)	≤43
Termisk expansionskoefficient Mm/°C	≤4,4*10-6

Grafitvärmare för elektrisk ugn har egenskaper som värmebeständighet, oxidationsbeständighet, god elektrisk ledningsförmåga och bättre mekanisk intensitet. Vi kan bearbeta olika typer av grafitvärmare enligt kundernas design.