Omkristalliserad kiselkarbid-waferbåt med CVD-beläggning

Kort beskrivning:

VET Energy Recrystallized Silicon Carbide Wafer Boat är en högpresterande produkt designad för att ge konsekvent och pålitlig prestanda under en längre period. Den har superbra värmebeständighet och termisk enhetlighet, hög renhet, erosionsbeständighet, vilket gör den till den perfekta lösningen för waferbearbetningsapplikationer.


Produktdetaljer

Produkttaggar

Egenskaper hos omkristalliserad kiselkarbid

Omkristalliserad kiselkarbid (R-SiC) är ett högpresterande material med hårdhet näst efter diamant, som bildas vid en hög temperatur över 2000 ℃. Den behåller många utmärkta egenskaper hos SiC, såsom hög temperaturhållfasthet, stark korrosionsbeständighet, utmärkt oxidationsbeständighet, god termisk chockbeständighet och så vidare.

● Utmärkta mekaniska egenskaper. Omkristalliserad kiselkarbid har högre styrka och styvhet än kolfiber, hög slaghållfasthet, kan spela en bra prestanda i extrema temperaturmiljöer, kan spela en bättre motviktsprestanda i en mängd olika situationer. Dessutom har den också god flexibilitet och skadas inte lätt av sträckning och böjning, vilket avsevärt förbättrar dess prestanda.

● Hög korrosionsbeständighet. Omkristalliserad kiselkarbid har hög korrosionsbeständighet mot en mängd olika medier, kan förhindra erosion av en mängd olika korrosiva medier, kan behålla sina mekaniska egenskaper under lång tid, har en stark vidhäftning, så att den har en längre livslängd. Dessutom har den också god termisk stabilitet, kan anpassa sig till ett visst område av temperaturförändringar, förbättra dess appliceringseffekt.

● Sintring krymper inte. Eftersom sintringsprocessen inte krymper, kommer ingen kvarvarande spänning att orsaka deformation eller sprickbildning av produkten, och delar med komplexa former och hög precision kan förberedas.

IMG_9497
IMG_9503

重结晶碳化硅物理特性

Fysikaliska egenskaper hos omkristalliserad kiselkarbid

性质 / Fastighet

典型数值 / Typiskt värde

使用温度/ Arbetstemperatur (°C)

1600°C (med syre), 1700°C (reducerande miljö)

Sic含量/ SiC-innehåll

> 99,96 %

自由Si含量/ Gratis Si-innehåll

< 0,1 %

体积密度/Bulkdensitet

2,60-2,70 g/cm3

气孔率/ Synbar porositet

< 16 %

抗压强度/ Kompressionsstyrka

> 600MPa

常温抗弯强度/Kallböjhållfasthet

80-90 MPa (20°C)

高温抗弯强度Varmböjhållfasthet

90-100 MPa (1400°C)

热膨胀系数/ Termisk expansion @1500°C

4,70 10-6/°C

导热系数/Värmeledningsförmåga @1200°C

23W/m•K

杨氏模量/ Elastisk modul

240 GPa

抗热震性/ Termisk stötbeständighet

Extremt bra

VET Energy är deverklig tillverkare av skräddarsydda grafit- och kiselkarbidprodukter med CVD-beläggning,kan levereraolikakundanpassade delar för halvledar- och solcellsindustrin. Our tekniska team kommer från topp inhemska forskningsinstitutioner, kan tillhandahålla mer professionella materiallösningarför dig.

Vi utvecklar kontinuerligt avancerade processer för att tillhandahålla mer avancerade material,ochhar utarbetat en exklusiv patenterad teknologi, som kan göra bindningen mellan beläggningen och underlaget tätare och mindre benägen att lossna.

CVD SiC薄膜基本物理性能

Grundläggande fysikaliska egenskaper hos CVD SiCbeläggning

性质 / Fastighet

典型数值 / Typiskt värde

晶体结构 / Kristallstruktur

FCC β-fas多晶,主要为(111)取向

密度 / Densitet

3,21 g/cm³

硬度 / Hårdhet

2500 维氏硬度(500g last)

晶粒大小 / kornstorlek

2~10μm

纯度 / Kemisk renhet

99,99995 %

热容 / Värmekapacitet

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimeringstemperatur

2700 ℃

抗弯强度 / Flexural Strength

415 MPa RT 4-punkts

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt böj, 1300℃

导热系数 / ThermalLedningsförmåga

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Termisk expansion (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Varmt välkommen att besöka vår fabrik, låt oss diskutera vidare!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Tidigare:
  • Nästa:

  • WhatsApp onlinechatt!