VET Energys produktlinje är inte begränsad till silikonwafers. Vi tillhandahåller också ett brett utbud av halvledarsubstratmaterial, inklusive SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer, etc., såväl som nya bredbandgap halvledarmaterial som Gallium Oxide Ga2O3 och AlN Wafer. Dessa produkter kan möta applikationsbehoven hos olika kunder inom kraftelektronik, radiofrekvens, sensorer och andra områden.
Ansökningsfält:
•Integrerade kretsar:Som grundmaterial för tillverkning av integrerade kretsar används kiselskivor av P-typ i stor utsträckning i olika logiska kretsar, minnen etc.
•Strömenheter:Kiselskivor av P-typ kan användas för att tillverka kraftenheter som krafttransistorer och dioder.
•Sensorer:Silikonskivor av P-typ kan användas för att tillverka olika typer av sensorer, såsom trycksensorer, temperatursensorer, etc.
•Solceller:Silikonskivor av P-typ är en viktig komponent i solceller.
VET Energy förser kunder med skräddarsydda waferlösningar och kan skräddarsy wafers med olika resistivitet, olika syrehalt, olika tjocklek och andra specifikationer efter kundernas specifika behov. Dessutom tillhandahåller vi även professionell teknisk support och eftermarknadsservice för att hjälpa kunder att lösa olika problem som uppstår i produktionsprocessen.
SPECIFIKATIONER FÖR WAFERING
*n-Pm=n-typ Pm-Grade,n-Ps=n-typ Ps-Grade,Sl=Halvisolerande
Punkt | 8-tums | 6-tums | 4-tums | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Bow(GF3YFCD)-Absolut värde | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Warp(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
Wafer Edge | Fasning |
YTBEHANDLING
*n-Pm=n-typ Pm-Grade,n-Ps=n-typ Ps-Grade,Sl=Halvisolerande
Punkt | 8-tums | 6-tums | 4-tums | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Ytfinish | Dubbelsidig Optisk Polish, Si- Face CMP | ||||
Ytråhet | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0,2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0,2nm | |||
Edge Chips | Ingen tillåten (längd och bredd≥0,5 mm) | ||||
Indrag | Ingen tillåten | ||||
Repor (Si-Face) | Antal.≤5, Kumulativ | Antal.≤5, Kumulativ | Antal.≤5, Kumulativ | ||
Sprickor | Ingen tillåten | ||||
Kantexkludering | 3 mm |