1. Kvittens innan rengöring
1) NärPECVD grafitbåt/bärare används mer än 100 till 150 gånger, måste operatören kontrollera beläggningens skick i tid. Om det finns en onormal beläggning måste den rengöras och bekräftas. Den normala beläggningsfärgen på kiselskivan i grafitbåten/bäraren är blå. Om wafern har icke-blå, flera färger, eller färgskillnaden mellan wafers är stor, är det en onormal beläggning och orsaken till avvikelsen måste bekräftas i tid.
2) Efter processen analyserar personalen beläggningens tillståndPECVD grafitbåt/bärare avgör de om grafitbåten behöver rengöras och om kortspetsen behöver bytas ut, och grafitbåten/bäraren som behöver rengöras kommer att överlämnas till utrustningspersonalen för rengöring.
3) Eftergrafit båt/carrier är skadad, kommer produktionspersonalen att ta ut alla kiselskivor i grafitbåten och använda CDA (komprimerad luft) för att sortera ut fragmenten igrafit båt. Efter färdigställandet kommer utrustningspersonalen att lyfta den i syratanken som har förberetts med en viss andel HF-lösning för rengöring.
2. Rengöring av grafitbåt
Det rekommenderas att använda en 15-25% fluorvätesyralösning för tre omgångar av rengöring, vardera i 4-5 timmar, och periodiskt bubblande kväve under blötläggningen och rengöringsprocessen, tillsätt cirka en halvtimmes rengöring; notera: det rekommenderas inte att använda luft direkt som gaskälla för bubbling. Efter betning, skölj med rent vatten i cirka 10 timmar och bekräfta att båten har rengjorts noggrant. Efter rengöring, vänligen kontrollera båtens yta, grafitkortspetsen och båtplåtskarven och andra delar för att se om det finns några rester av kiselnitrid. Torka sedan enligt kraven.
3. Försiktighetsåtgärder vid rengöring
A) Eftersom HF-syra är ett mycket frätande ämne och har en viss flyktighet, är det farligt för operatörer. Därför måste operatörer vid städplatsen vidta säkerhetsåtgärder och hanteras av en dedikerad person.
B) Det rekommenderas att ta isär båten och endast rengöra grafitdelen under rengöringen, så att varje kontaktdel kan rengöras mer noggrant. För närvarande använder många inhemska tillverkare övergripande rengöring, vilket är bekvämt, men eftersom HF-syra är frätande för keramiska delar, kommer övergripande rengöring att förkorta livslängden för motsvarande delar.
Posttid: 2024-12-23