VET Energys 8-tums kiselskivor används i stor utsträckning inom kraftelektronik, sensorer, integrerade kretsar och andra områden. Som ledare inom halvledarindustrin är vi fast beslutna att tillhandahålla högkvalitativa Si Wafer-produkter för att möta våra kunders växande behov.
Förutom Si Wafer tillhandahåller VET Energy också ett brett utbud av halvledarsubstratmaterial, inklusive SiC-substrat, SOI-wafer, SiN-substrat, Epi Wafer, etc. Vår produktlinje täcker även nya halvledarmaterial med breda bandgap som Gallium Oxide Ga2O3 och AlN Wafer, ger starkt stöd för utvecklingen av nästa generations kraftelektroniska enheter.
VET Energy har avancerad produktionsutrustning och ett komplett kvalitetsledningssystem för att säkerställa att varje wafer uppfyller stränga industristandarder. Våra produkter har inte bara utmärkta elektriska egenskaper, utan har också god mekanisk styrka och termisk stabilitet.
VET Energy förser kunder med skräddarsydda waferlösningar, inklusive wafers av olika storlekar, typer och dopningskoncentrationer. Dessutom tillhandahåller vi också professionell teknisk support och eftermarknadsservice för att hjälpa kunder att lösa olika problem som uppstår under produktionsprocessen.
SPECIFIKATIONER FÖR WAFERING
*n-Pm=n-typ Pm-Grade,n-Ps=n-typ Ps-Grade,Sl=Halvisolerande
Punkt | 8-tums | 6-tums | 4-tums | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Bow(GF3YFCD)-Absolut värde | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Warp(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
Wafer Edge | Fasning |
YTBEHANDLING
*n-Pm=n-typ Pm-Grade,n-Ps=n-typ Ps-Grade,Sl=Halvisolerande
Punkt | 8-tums | 6-tums | 4-tums | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Ytfinish | Dubbelsidig Optisk Polish, Si- Face CMP | ||||
Ytråhet | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0,2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0,2nm | |||
Edge Chips | Ingen tillåten (längd och bredd≥0,5 mm) | ||||
Indrag | Ingen tillåten | ||||
Repor (Si-Face) | Antal.≤5, Kumulativ | Antal.≤5, Kumulativ | Antal.≤5, Kumulativ | ||
Sprickor | Ingen tillåten | ||||
Kantexkludering | 3 mm |