vet-china zaisťuje, že každý odolnýPádlo na manipuláciu s plátkami z karbidu kremíkamá vynikajúci výkon a odolnosť. Táto lopatka na manipuláciu s doštičkami z karbidu kremíka využíva pokročilé výrobné procesy, aby sa zabezpečilo, že jej štrukturálna stabilita a funkčnosť zostane v prostredí s vysokou teplotou a chemickou koróziou. Tento inovatívny dizajn poskytuje vynikajúcu podporu pre manipuláciu s polovodičovými plátkami, najmä pre vysoko presné automatizované operácie.
Konzolové pádlo SiCje špecializovaný komponent používaný v zariadeniach na výrobu polovodičov, ako sú oxidačná pec, difúzna pec a žíhacia pec, hlavné použitie je na nakladanie a vykladanie plátkov, podporuje a prepravuje plátky počas vysokoteplotných procesov.
Spoločné štruktúryzSiCcantipákappridať: konzolová konštrukcia, upevnená na jednom konci a voľná na druhom, má typicky plochý a lopatkový dizajn.
PracovnépzásadazSiCcantipákappridať:
Konzolová lopatka sa môže pohybovať nahor a nadol alebo tam a späť v komore pece, môže sa použiť na presun doštičiek z nakladacích oblastí do oblastí spracovania alebo von z oblastí spracovania, pričom podopiera a stabilizuje doštičky počas spracovania pri vysokej teplote.
Fyzikálne vlastnosti rekryštalizovaného karbidu kremíka | |
Nehnuteľnosť | Typická hodnota |
Pracovná teplota (°C) | 1600 °C (s kyslíkom), 1700 °C (redukčné prostredie) |
obsah SiC | > 99,96 % |
Voľný obsah Si | < 0,1 % |
Objemová hmotnosť | 2,60-2,70 g/cm3 |
Zjavná pórovitosť | < 16 % |
Pevnosť v tlaku | > 600 MPa |
Pevnosť v ohybe za studena | 80-90 MPa (20 °C) |
Pevnosť v ohybe za tepla | 90-100 MPa (1400 °C) |
Tepelná rozťažnosť pri 1500°C | 4,70 10-6/°C |
Tepelná vodivosť pri 1200°C | 23 W/m•K |
Modul pružnosti | 240 GPa |
Odolnosť voči tepelným šokom | Mimoriadne dobré |