keramický ohrievač z karbidu kremíka

Vet-ČínaKeramika z karbidu kremíkaCoating je vysokoúčinný ochranný náter vyrobený z extrémne tvrdého a odolného voči opotrebovaniukarbid kremíka (SiC)materiál, ktorý poskytuje vynikajúcu chemickú odolnosť proti korózii a stabilitu pri vysokých teplotách. Tieto vlastnosti sú rozhodujúce pri výrobe polovodičov, tzvKeramický povlak z karbidu kremíkaje široko používaný v kľúčových komponentoch zariadení na výrobu polovodičov.

Špecifická úloha Vet-ČínaKeramika z karbidu kremíkaPovlak pri výrobe polovodičov je nasledujúci:

Zvýšte životnosť zariadenia:Keramický povlak z karbidu kremíka Keramický povlak z karbidu kremíka poskytuje vďaka svojej extrémne vysokej tvrdosti a odolnosti proti opotrebeniu vynikajúcu povrchovú ochranu zariadení na výrobu polovodičov. Najmä vo vysokoteplotných a vysoko korozívnych procesných prostrediach, ako je chemické naparovanie (CVD) a plazmové leptanie, môže povlak účinne zabrániť poškodeniu povrchu zariadenia chemickou eróziou alebo fyzickým opotrebovaním, čím sa výrazne predlžuje životnosť zariadenia. zariadenia a zníženie prestojov spôsobených častou výmenou a opravou.

Zlepšenie čistoty procesu:V procese výroby polovodičov môže drobná kontaminácia spôsobiť chyby produktu. Chemická inertnosť keramického povlaku z karbidu kremíka mu umožňuje zostať stabilný v extrémnych podmienkach, čím zabraňuje uvoľňovaniu častíc alebo nečistôt z materiálu, čím sa zabezpečuje ekologická čistota procesu. Toto je obzvlášť dôležité pre výrobné kroky, ktoré vyžadujú vysokú presnosť a vysokú čistotu, ako je PECVD a iónová implantácia.

Optimalizácia tepelného manažmentu:Pri vysokoteplotnom spracovaní polovodičov, ako je rýchle tepelné spracovanie (RTP) a oxidačné procesy, vysoká tepelná vodivosť keramického povlaku z karbidu kremíka umožňuje rovnomerné rozloženie teploty vo vnútri zariadenia. To pomáha znižovať tepelné namáhanie a deformáciu materiálu spôsobenú kolísaním teploty, čím sa zlepšuje presnosť a konzistencia výroby produktu.

Podpora komplexných procesných prostredí:V procesoch, ktoré si vyžadujú komplexnú kontrolu atmosféry, ako je ICP leptanie a PSS leptanie, stabilita a odolnosť keramického povlaku z karbidu kremíka zaisťuje, že zariadenie si udrží stabilný výkon v dlhodobej prevádzke, čím sa znižuje riziko degradácie materiálu alebo poškodenia zariadenia. k environmentálnym zmenám.