1. Potvrdenie pred čistením
1) KeďPECVD grafitový čln/nosič sa používa viac ako 100 až 150-krát, obsluha potrebuje včas skontrolovať stav náteru. Ak existuje abnormálny povlak, je potrebné ho vyčistiť a potvrdiť. Normálna farba povlaku silikónového plátku v grafitovej lodi/nosiči je modrá. Ak má oblátka iné ako modré, viaceré farby alebo je farebný rozdiel medzi oblátkami veľký, ide o abnormálny povlak a príčinu abnormality je potrebné potvrdiť včas.
2) Potom, čo pracovníci procesu analyzujú stav náteruPECVD grafitový čln/prepravca, určia, či je potrebné vyčistiť grafitový čln a či je potrebné vymeniť kartový bod a grafitový čln/nosič, ktorý je potrebné vyčistiť, odovzdá na čistenie personálu zariadenia.
3) Pografitový čln/nosič je poškodený, personál výroby vyberie všetky kremíkové doštičky v grafitovom člne a použije CDA (stlačený vzduch) na roztriedenie úlomkov vgrafitový čln. Po dokončení ho personál zariadenia zdvihne do nádrže s kyselinou, ktorá bola pripravená s určitým podielom HF roztoku na čistenie.
2. Čistenie grafitovej lode
Odporúča sa použiť 15 – 25 % roztok kyseliny fluorovodíkovej na tri cykly čistenia, každé na 4 – 5 hodín, a počas procesu namáčania a čistenia pravidelne prebublávať dusík, čím sa pridá asi polhodina čistenia; poznámka: neodporúča sa používať vzduch priamo ako zdroj plynu na prebublávanie. Po morení oplachujte čistou vodou asi 10 hodín a potvrďte, že loď bola dôkladne vyčistená. Po vyčistení skontrolujte povrch člna, hrot grafitovej karty a spoj plachty člna a ďalšie časti, či nie sú zvyšky nitridu kremíka. Potom vysušte podľa požiadaviek.
3. Opatrenia na čistenie
A) Keďže kyselina HF je vysoko korozívna látka a má určitú prchavosť, je nebezpečná pre obsluhu. Operátori na čistiacom stanovišti preto musia prijať bezpečnostné opatrenia a musia byť riadení špecializovanou osobou.
B) Odporúča sa čln rozobrať a pri čistení čistiť len grafitovú časť, aby sa každá kontaktná časť dala dôkladnejšie vyčistiť. V súčasnosti veľa domácich výrobcov používa celkové čistenie, ktoré je pohodlné, ale pretože kyselina HF je korozívna pre keramické diely, celkové čistenie skráti životnosť zodpovedajúcich dielov.
Čas odoslania: 23. decembra 2024