Pokročilá SiC konzolová lopatka na spracovanie plátkov

Stručný popis:

Pokročilé konzolové pádlo SiC na spracovanie plátkov, ktoré uviedla spoločnosť vet-china, využíva špičkové materiály SiC na zlepšenie účinnosti a presnosti spracovania plátkov. Konzolová lopatka Vet-china sa vyznačuje vynikajúcou tepelnou odolnosťou a odolnosťou proti korózii, čo zaisťuje stabilný výkon pri manipulácii s plátkami v náročných výrobných prostrediach, čo z nej robí ideálnu voľbu na zlepšenie výnosu výroby.

Pošlite nám e-mail Stiahnuť ako PDF

Detail produktu

Štítky produktu

PokročiléKonzolové pádlo SiCfor Wafer Processing vytvorený spoločnosťou vet-china poskytuje vynikajúce riešenie pre výrobu polovodičov. Táto konzolová lopatka je vyrobená z materiálu SiC (karbid kremíka) a jej vysoká tvrdosť a tepelná odolnosť jej umožňujú udržiavať vynikajúci výkon vo vysokoteplotnom a korozívnom prostredí. Konštrukcia Cantilever Paddle umožňuje spoľahlivú podporu plátku počas spracovania, čím sa znižuje riziko fragmentácie a poškodenia.

Konzolové pádlo SiCje špecializovaný komponent používaný v zariadeniach na výrobu polovodičov, ako sú oxidačná pec, difúzna pec a žíhacia pec, hlavné použitie je na nakladanie a vykladanie plátkov, podporuje a prepravuje plátky počas vysokoteplotných procesov.

Spoločné štruktúryzSiCcantipákappridať: konzolová konštrukcia, upevnená na jednom konci a voľná na druhom, má typicky plochý a lopatkový dizajn.

VET Energy používa vysoko čisté materiály z rekryštalizovaného karbidu kremíka, aby bola zaručená kvalita.

Fyzikálne vlastnosti rekryštalizovaného karbidu kremíka
Nehnuteľnosť	Typická hodnota
Pracovná teplota (°C)	1600 °C (s kyslíkom), 1700 °C (redukujúce prostredie)
obsah SiC	> 99,96 %
Voľný obsah Si	< 0,1 %
Objemová hmotnosť	2,60-2,70 g/cm³
Zjavná pórovitosť	< 16 %
Pevnosť v tlaku	> 600MPa
Pevnosť v ohybe za studena	80-90 MPa (20 °C)
Pevnosť v ohybe za tepla	90-100 MPa (1400 °C)
Tepelná rozťažnosť pri 1500°C	4,70 10^-6/°C
Tepelná vodivosť pri 1200°C	23W/m•K
Modul pružnosti	240 GPa
Odolnosť voči tepelným šokom	Mimoriadne dobré