MOCVD ohrievač substrátu, vykurovacie telesá pre MOCVD

Ohrievač substrátu MOCVD, vykurovacie telesá pre MOCVD Odporúčaný obrázok

Stručný popis:

Chemický grafit

Výhoda: Odolnosť voči vysokej teplote

Použitie: MOCVD / vákuová pec / horúca zóna

Objemová hustota: 1,68-1,91 g/cm3

Pevnosť v ohybe: 30-46Mpa

Odpor: 7-12μΩm

Pošlite nám e-mail Stiahnuť ako PDF

Detail produktu

Štítky produktu

MOCVD ohrievač substrátu, vykurovacie telesá pre MOCVD

Grafitový ohrievač:
Komponenty grafitového ohrievača sa používajú vo vysokoteplotnej peci s teplotou dosiahnutou 2200 stupňov vo vákuovom prostredí a 3000 stupňov v prostredí deoxidovaného a vloženého plynu.
Hlavné vlastnosti grafitového ohrievača:
1. jednotnosť vykurovacej štruktúry.
2. dobrá elektrická vodivosť a vysoké elektrické zaťaženie.
3. odolnosť proti korózii.
4. neoxidovateľnosť.
5. vysoká chemická čistota.
6. vysoká mechanická pevnosť.
Výhodou je energetická efektívnosť, vysoká hodnota a nenáročnosť na údržbu.
Môžeme vyrobiť antioxidačný grafitový téglik s dlhou životnosťou, grafitovú formu a všetky časti grafitového ohrievača.
Hlavné parametre grafitového ohrievača:

Technická špecifikácia	VET-M3
Objemová hustota (g/cm3)	≥1,85
Obsah popola (PPM)	≤ 500
Tvrdosť Shore	≥45
Špecifický odpor (μ.Ω.m)	≤12
Pevnosť v ohybe (Mpa)	≥40
Pevnosť v tlaku (Mpa)	≥70
Max. Veľkosť zrna (μm)	≤43
Koeficient tepelnej rozťažnosti Mm/°C	≤4,4*10-6

Grafitový ohrievač do elektrickej pece má vlastnosti tepelnej odolnosti, odolnosti voči oxidácii, dobrej elektrickej vodivosti a lepšej mechanickej náročnosti. Môžeme opracovať rôzne typy grafitových ohrievačov podľa návrhov zákazníkov.