Energia VETTaca grafitowa z powłoką z węglika krzemu, Plate i Cover zostały zaprojektowane tak, aby zapewniać najwyższą wydajność, zapewniając niezawodne i spójne działanie w przypadku długotrwałego użytkowania, co czyni go niezbędnym wyborem do zastosowań związanych z przetwarzaniem płytek w przemyśle półprzewodników. Ta wysoka wydajnośćPłyta grafitowa z powłoką z węglika krzemucharakteryzuje się wyjątkową odpornością na ciepło, doskonałą jednorodnością termiczną i wyjątkową stabilnością chemiczną, szczególnie w warunkach wysokiej temperatury. Jego konstrukcja o wysokiej czystości w połączeniu z zaawansowaną odpornością na erozję sprawia, że jest niezastąpiony w wymagających środowiskach, takich jakSusceptory MOCVD.
Najważniejsze cechy grafitowej tacy, płyty i pokrywy z powłoką z węglika krzemu
1. Odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze:Wytrzymuje temperatury do 1700 ℃, dzięki czemu może działać niezawodnie w ekstremalnych warunkach.
2. Wysoka czystość i jednorodność termiczna:Stała wysoka czystość i równomierna dystrybucja ciepła mają kluczowe znaczenie w zastosowaniach MOCVD.
3. Wyjątkowa odporność na korozję:Odporny na kwasy, zasady, sole i różne odczynniki organiczne, zapewniając długoterminową stabilność w różnorodnych środowiskach.
4. Wysoka twardość i zwarta powierzchnia:Charakteryzuje się gęstą powierzchnią z drobnymi cząsteczkami, co poprawia ogólną trwałość i odporność na zużycie.
5. Wydłużony okres użytkowania:Zaprojektowane z myślą o trwałości, przewyższającej konwencjonalnegrafitowe susceptory pokryte węglikiem krzemuw trudnych warunkach przetwarzania półprzewodników.
CVD SiC薄膜基本物理性能 Podstawowe właściwości fizyczne CVD SiCpowłoka | |
性质 / Nieruchomość | 典型数值 / Typowa wartość |
晶体结构 / Struktura kryształu | Faza β FCC多晶, 主要为 (111) 取向 |
密度 / Gęstość | 3,21 g/cm3 |
硬度 / Twardość | 2500 维氏硬度 (ładunek 500g) |
晶粒大小 / ROZMIAR ZIARNA | 2 ~ 10 μm |
纯度 / Czystość chemiczna | 99,99995% |
热容 / Pojemność cieplna | 640 J·kg-1·K-1 |
升华温度 / Temperatura sublimacji | 2700 ℃ |
抗弯强度 / Wytrzymałość na zginanie | 415 MPa RT 4-punktowy |
杨氏模量 / Moduł Younga | Zakręt 430 Gpa, 4-punktowy, 1300 ℃ |
导热系数 / TermalPrzewodność | 300W·m-1·K-1 |
热膨胀系数 / Rozszerzalność cieplna (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Doświadczenie VET Energy w zakresie niestandardowych rozwiązań w zakresie grafitu i węglika krzemu
Jako zaufany producent, VET Energy specjalizuje się w specjalnie zaprojektowanych susceptorach grafitowych i rozwiązaniach w zakresie powłok z węglika krzemu. Oferujemy szeroką gamę produktów dostosowanych do potrzeb przemysłu półprzewodników i fotowoltaiki, m.inElementy grafitowe pokryte SiCjak tace, talerze i pokrywki. Nasza oferta produktów obejmuje również różnorodne opcje powlekania, takie jakPowłoka SiC dla MOCVD, Powłoka TaC, powłoka z węgla szklistegoi pirolityczną powłokę węglową, dzięki czemu spełniamy zróżnicowane wymagania branż zaawansowanych technologii.
Nasz doświadczony zespół techniczny, składający się z ekspertów z czołowych krajowych instytucji badawczych, zapewnia klientom kompleksowe rozwiązania materiałowe. Stale udoskonalamy nasze zaawansowane procesy, w tym ekskluzywną opatentowaną technologię, która poprawia wiązanie pomiędzy powłoką z węglika krzemu a podłożem grafitowym, zmniejszając ryzyko oderwania i jeszcze bardziej wydłużając żywotność produktu.
Zastosowania i korzyści w produkcji półprzewodników
ThePowłoka z węglika krzemu dla MOCVDsprawia, że te grafitowe susceptory są bardzo skuteczne w środowiskach o wysokiej temperaturze i korozyjnym. Niezależnie od tego, czy są stosowane jako nośniki płytek grafitowych, czy inne komponenty MOCVD, te susceptory pokryte węglikiem krzemu wykazują doskonałą trwałość i wydajność. Dla poszukujących niezawodnych rozwiązań wSusceptor grafitowy pokryty SiCrynku, taca, płyta i pokrywa z grafitu pokryta węglikiem krzemu firmy VET Energy stanowią solidną i wszechstronną opcję, która spełnia rygorystyczne wymagania przemysłu półprzewodników.
Koncentrując się na zaawansowanej materiałoznawstwie, firma VET Energy angażuje się w dostarczanie wysokowydajnych rozwiązań grafitowych pokrytych SiC, które napędzają innowacje w przetwarzaniu półprzewodników i zapewniają niezawodne działanie we wszystkich zastosowaniach związanych z MOCVD.
VET Energy jest prawdziwym producentem niestandardowych produktów z grafitu i węglika krzemu z różnymi powłokami, takimi jak powłoka SiC, powłoka TaC, powłoka z węgla szklistego, powłoka z węgla pirolitycznego itp. Może dostarczać różne niestandardowe części dla przemysłu półprzewodników i fotowoltaiki.
Nasz zespół techniczny pochodzi z najlepszych krajowych instytucji badawczych, może zapewnić Ci bardziej profesjonalne rozwiązania materiałowe.
Stale rozwijamy zaawansowane procesy, aby dostarczać bardziej zaawansowane materiały i opracowaliśmy ekskluzywną opatentowaną technologię, która może sprawić, że wiązanie pomiędzy powłoką a podłożem będzie mocniejsze i mniej podatne na odrywanie.
Serdecznie zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki, porozmawiajmy dalej!