Grafitowa płyta i pokrywa tacy z powłoką z węglika krzemu

Krótki opis:

Płyta i pokrywa grafitowa z powłoką z węglika krzemu VET Energy to produkt o wysokiej wydajności, zaprojektowany w celu zapewnienia stałej i niezawodnej pracy przez dłuższy czas. Ma bardzo dobrą odporność na ciepło i jednorodność termiczną, wysoką czystość, odporność na erozję, co czyni go idealnym rozwiązaniem do zastosowań w przetwarzaniu płytek.

Wyślij e-mail do nas Pobierz jako plik PDF

Szczegóły produktu

Tagi produktów

Energia VETTaca grafitowa z powłoką z węglika krzemu, Plate i Cover zostały zaprojektowane tak, aby zapewniać najwyższą wydajność, zapewniając niezawodne i spójne działanie w przypadku długotrwałego użytkowania, co czyni go niezbędnym wyborem do zastosowań związanych z przetwarzaniem płytek w przemyśle półprzewodników. Ta wysoka wydajnośćPłyta grafitowa z powłoką z węglika krzemucharakteryzuje się wyjątkową odpornością na ciepło, doskonałą jednorodnością termiczną i wyjątkową stabilnością chemiczną, szczególnie w warunkach wysokiej temperatury. Jego konstrukcja o wysokiej czystości w połączeniu z zaawansowaną odpornością na erozję sprawia, że jest niezastąpiony w wymagających środowiskach, takich jakSusceptory MOCVD.

Kluczowe cechy grafitowej tacy, płyty i pokrywy z powłoką z węglika krzemu

1. Odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze:Wytrzymuje temperatury do 1700 ℃, dzięki czemu może działać niezawodnie w ekstremalnych warunkach.

2. Wysoka czystość i jednorodność termiczna:Stała wysoka czystość i równomierna dystrybucja ciepła mają kluczowe znaczenie w zastosowaniach MOCVD.

3. Wyjątkowa odporność na korozję:Odporny na kwasy, zasady, sole i różne odczynniki organiczne, zapewniając długoterminową stabilność w różnorodnych środowiskach.

4. Wysoka twardość i zwarta powierzchnia:Charakteryzuje się gęstą powierzchnią z drobnymi cząsteczkami, co poprawia ogólną trwałość i odporność na zużycie.

5. Wydłużony okres użytkowania:Zaprojektowane z myślą o trwałości, przewyższającej konwencjonalnegrafitowe susceptory pokryte węglikiem krzemuw trudnych warunkach przetwarzania półprzewodników.

CVD SiC薄膜基本物理性能 Podstawowe właściwości fizyczne CVD SiCpowłoka
性质 / Nieruchomość	典型数值 / Typowa wartość
晶体结构 / Struktura kryształu	Faza β FCC多晶, 主要为 (111) 取向
密度 / Gęstość	3,21 g/cm3
硬度 / Twardość	2500 维氏硬度 (ładunek 500g)
晶粒大小 / ROZMIAR ZIARNA	2 ~ 10 μm
纯度 / Czystość chemiczna	99,99995%
热容 / Pojemność cieplna	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura sublimacji	2700 ℃
抗弯强度 / Wytrzymałość na zginanie	415 MPa RT 4-punktowy
杨氏模量 / Moduł Younga	Zakręt 430 GPa, 1300 ℃
导热系数 / TermalPrzewodność	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Rozszerzalność cieplna (CTE)	4,5×10^-6K^-1

Doświadczenie VET Energy w zakresie niestandardowych rozwiązań w zakresie grafitu i węglika krzemu

Jako zaufany producent, VET Energy specjalizuje się w specjalnie zaprojektowanych susceptorach grafitowych i rozwiązaniach w zakresie powłok z węglika krzemu. Oferujemy szeroką gamę produktów dostosowanych do potrzeb przemysłu półprzewodników i fotowoltaiki, m.inElementy grafitowe pokryte SiCjak tace, talerze i pokrywki. Nasza oferta produktów obejmuje również różnorodne opcje powlekania, takie jakPowłoka SiC dla MOCVD, Powłoka TaC, powłoka z węgla szklistegoi pirolityczną powłokę węglową, dzięki czemu spełniamy zróżnicowane wymagania branż zaawansowanych technologii.

Nasz doświadczony zespół techniczny, składający się z ekspertów z czołowych krajowych instytucji badawczych, zapewnia klientom kompleksowe rozwiązania materiałowe. Stale udoskonalamy nasze zaawansowane procesy, w tym ekskluzywną opatentowaną technologię, która poprawia wiązanie pomiędzy powłoką z węglika krzemu a podłożem grafitowym, zmniejszając ryzyko oderwania i jeszcze bardziej wydłużając żywotność produktu.

Zastosowania i korzyści w produkcji półprzewodników

ThePowłoka z węglika krzemu dla MOCVDsprawia, że te grafitowe susceptory są bardzo skuteczne w środowiskach o wysokiej temperaturze i korozyjnym. Niezależnie od tego, czy są stosowane jako nośniki płytek grafitowych, czy inne komponenty MOCVD, te susceptory pokryte węglikiem krzemu wykazują doskonałą trwałość i wydajność. Dla poszukujących niezawodnych rozwiązań wSusceptor grafitowy pokryty SiCrynku, taca, płyta i pokrywa z grafitu pokryta węglikiem krzemu firmy VET Energy stanowią solidną i wszechstronną opcję, która spełnia rygorystyczne wymagania przemysłu półprzewodników.

Koncentrując się na zaawansowanej materiałoznawstwie, firma VET Energy angażuje się w dostarczanie wysokowydajnych rozwiązań grafitowych pokrytych SiC, które napędzają innowacje w przetwarzaniu półprzewodników i zapewniają niezawodne działanie we wszystkich zastosowaniach związanych z MOCVD.

VET Energy jest prawdziwym producentem niestandardowych produktów z grafitu i węglika krzemu z różnymi powłokami, takimi jak powłoka SiC, powłoka TaC, powłoka z węgla szklistego, powłoka z węgla pirolitycznego itp. Może dostarczać różne niestandardowe części dla przemysłu półprzewodników i fotowoltaiki.

Nasz zespół techniczny pochodzi z najlepszych krajowych instytucji badawczych, może zapewnić Ci bardziej profesjonalne rozwiązania materiałowe.

Stale rozwijamy zaawansowane procesy, aby dostarczać bardziej zaawansowane materiały i opracowaliśmy ekskluzywną opatentowaną technologię, która może sprawić, że wiązanie pomiędzy powłoką a podłożem będzie mocniejsze i mniej podatne na odrywanie.

Serdecznie zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki, porozmawiajmy dalej!