Producent z Chin, grafitowy susceptor epitaksji MOCVD z powłoką SiC

Producent z Chin, powlekany grafitem SiC, susceptor epitaksji MOCVD, wyróżniony obraz

Krótki opis:

Czystość < 5 ppm
‣ Dobra jednolitość dopingu
‣ Wysoka gęstość i przyczepność
‣ Dobra odporność na korozję i węgiel

‣ Profesjonalna personalizacja
‣ Krótki czas realizacji
‣ Stabilne dostawy
‣ Kontrola jakości i ciągłe doskonalenie

Epitaksja GaN na szafirze(RGB/Mini/MikroLED);
Epitaksja GaN na podłożu Si(UVC);
Epitaksja GaN na podłożu Si(Urządzenie elektroniczne);
Epitaksja Si na podłożu Si(Układ scalony);
Epitaksja SiC na podłożu SiC(Podłoże);
Epitaksja InP na InP

Wyślij e-mail do nas Pobierz w formacie PDF

Szczegóły produktu

Tagi produktów

Wysokiej jakości susceptor MOCVD Kup online w Chinach

Płytka musi przejść kilka etapów, zanim będzie gotowa do użycia w urządzeniach elektronicznych. Ważnym procesem jest epitaksja krzemowa, podczas której płytki są przenoszone na grafitowych susceptorach. Właściwości i jakość susceptorów mają decydujący wpływ na jakość warstwy epitaksjalnej płytki.

Do faz osadzania cienkowarstwowych, takich jak epitaksja lub MOCVD, firma VET dostarcza sprzęt z ultraczystego grafitu stosowany do podtrzymywania podłoży lub „płytek”. W rdzeniu procesu sprzęt ten, susceptory epitaksji lub platformy satelitarne dla MOCVD, są najpierw poddawane środowisku osadzania:

Wysoka temperatura.
Wysoka próżnia.
Stosowanie agresywnych prekursorów gazowych.
Zero zanieczyszczeń, brak łuszczenia.
Odporność na mocne kwasy podczas operacji czyszczenia

VET Energy jest prawdziwym producentem niestandardowych produktów z grafitu i węglika krzemu z powłokami dla przemysłu półprzewodników i fotowoltaiki. Nasz zespół techniczny pochodzi z najlepszych krajowych instytucji badawczych, może zapewnić Ci bardziej profesjonalne rozwiązania materiałowe.

Stale rozwijamy zaawansowane procesy, aby dostarczać bardziej zaawansowane materiały i opracowaliśmy ekskluzywną opatentowaną technologię, która może sprawić, że wiązanie pomiędzy powłoką a podłożem będzie mocniejsze i mniej podatne na odrywanie.

Cechy naszych produktów:

1. Odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze do 1700 ℃.
2. Wysoka czystość i jednorodność termiczna
3. Doskonała odporność na korozję: kwasy, zasady, sól i odczynniki organiczne.
4. Wysoka twardość, zwarta powierzchnia, drobne cząstki.
5. Dłuższa żywotność i trwałość

CVD SiC薄膜基本物理性能 Podstawowe właściwości fizyczne CVD SiCpowłoka
性质 / Nieruchomość	典型数值 / Typowa wartość
晶体结构 / Struktura kryształu	Faza β FCC多晶, 主要为 (111) 取向
密度 / Gęstość	3,21 g/cm3
硬度 / Twardość	2500 维氏硬度 (ładunek 500g)
晶粒大小 / ROZMIAR ZIARNA	2 ~ 10 μm
纯度 / Czystość chemiczna	99,99995%
热容 / Pojemność cieplna	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura sublimacji	2700 ℃
抗弯强度 / Wytrzymałość na zginanie	415 MPa RT 4-punktowy
杨氏模量 / Moduł Younga	Zakręt 430 Gpa, 4-punktowy, 1300 ℃
导热系数 / TermalPrzewodność	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Rozszerzalność cieplna (CTE)	4,5×10^-6K^-1