Jak czyścić łódź grafitową PECVD？| Energia VET

1. Potwierdzenie przed czyszczeniem

1) KiedyŁódź grafitowa PECVD/carrier jest używany ponad 100 do 150 razy, operator musi na czas sprawdzić stan powłoki. Jeśli występuje nienormalna powłoka, należy ją oczyścić i potwierdzić. Normalny kolor powłoki płytki krzemowej w grafitowej łódce/nośniku to niebieski. Jeśli płytka nie ma koloru niebieskiego, ma wiele kolorów lub różnica kolorów między płytkami jest duża, oznacza to nieprawidłową powłokę i przyczynę nieprawidłowości należy potwierdzić na czas.
2) Po zakończeniu procesu personel analizuje stan powłokiŁódź grafitowa PECVD/transporter, ustalą, czy łódka grafitowa wymaga czyszczenia i czy należy wymienić punkt karty, a łódka/transport grafitowa wymagająca oczyszczenia zostanie przekazana obsłudze sprzętu do czyszczenia.

 

3) Pografitowa łódka/nośnik jest uszkodzony, personel produkcyjny wyjmie wszystkie płytki krzemowe z grafitowej łodzi i użyje CDA (sprężonego powietrza) do uporządkowania fragmentów wgrafitowa łódka. Po zakończeniu personel urządzenia podniesie go do zbiornika kwasu, który został przygotowany z określoną ilością roztworu HF do czyszczenia.

 

2. Czyszczenie łodzi grafitowej

Zaleca się stosowanie 15-25% roztworu kwasu fluorowodorowego podczas trzech rund czyszczenia, każda po 4-5 godzin, i okresowe barbotowanie azotu podczas procesu namaczania i czyszczenia, wydłużając około pół godziny czyszczenia; uwaga: nie zaleca się stosowania powietrza bezpośrednio jako źródła gazu do bulgotania. Po wytrawieniu spłucz czystą wodą przez około 10 godzin i sprawdź, czy łódź została dokładnie wyczyszczona. Po czyszczeniu sprawdź powierzchnię łodzi, punkt karty grafitowej i złącze poszycia łodzi oraz inne części, aby sprawdzić, czy nie ma pozostałości azotku krzemu. Następnie wysuszyć zgodnie z wymaganiami.

3. Środki ostrożności dotyczące czyszczenia

A) Ponieważ kwas HF jest substancją silnie żrącą i ma pewną lotność, jest niebezpieczny dla operatorów. Dlatego operatorzy na stanowisku sprzątania muszą zachować środki ostrożności i być zarządzani przez dedykowaną osobę.

B) Zaleca się rozebranie łodzi i podczas czyszczenia oczyścić jedynie część grafitową, aby każda część kontaktowa mogła zostać dokładniej wyczyszczona. Obecnie wielu krajowych producentów stosuje czyszczenie ogólne, co jest wygodne, ale ponieważ kwas HF powoduje korozję części ceramicznych, ogólne czyszczenie skraca żywotność odpowiednich części.