Susceptor grafitowy pokryty SiC jest kluczowym elementem stosowanym w różnych procesach produkcji półprzewodników. wykorzystujemy naszą opatentowaną technologię, aby uzyskać susceptor o wyjątkowo wysokiej czystości, dobrej jednorodności powłoki i doskonałej żywotności, a także wysokiej odporności chemicznej i właściwościach stabilności termicznej.
Cechy naszych produktów:
1. Odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze do 1700 ℃.
2. Wysoka czystość i jednorodność termiczna
3. Doskonała odporność na korozję: kwasy, zasady, sól i odczynniki organiczne.
4. Wysoka twardość, zwarta powierzchnia, drobne cząstki.
5. Dłuższa żywotność i trwałość
CVD SiC薄膜基本物理性能 Podstawowe właściwości fizyczne CVD SiCpowłoka | |
性质 / Nieruchomość | 典型数值 / Typowa wartość |
晶体结构 / Struktura kryształu | Faza β FCC多晶, 主要为 (111) 取向 |
密度 / Gęstość | 3,21 g/cm3 |
硬度 / Twardość | 2500 维氏硬度 (ładunek 500g) |
晶粒大小 / ROZMIAR ZIARNA | 2 ~ 10 μm |
纯度 / Czystość chemiczna | 99,99995% |
热容 / Pojemność cieplna | 640 J·kg-1·K-1 |
升华温度 / Temperatura sublimacji | 2700 ℃ |
抗弯强度 / Wytrzymałość na zginanie | 415 MPa RT 4-punktowy |
杨氏模量 / Moduł Younga | Zakręt 430 GPa, 1300 ℃ |
导热系数 / TermalPrzewodność | 300W·m-1·K-1 |
热膨胀系数 / Rozszerzalność cieplna (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy jest prawdziwym producentem niestandardowych produktów z grafitu i węglika krzemu z różnymi powłokami, takimi jak powłoka SiC, powłoka TaC, powłoka z węgla szklistego, powłoka z węgla pirolitycznego itp. Może dostarczać różne niestandardowe części dla przemysłu półprzewodników i fotowoltaiki.
Nasz zespół techniczny pochodzi z najlepszych krajowych instytucji badawczych, może zapewnić Ci bardziej profesjonalne rozwiązania materiałowe.
Stale rozwijamy zaawansowane procesy, aby dostarczać bardziej zaawansowane materiały i opracowaliśmy ekskluzywną opatentowaną technologię, która może sprawić, że wiązanie pomiędzy powłoką a podłożem będzie mocniejsze i mniej podatne na odrywanie.
Serdecznie zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki, porozmawiajmy dalej!