VET EnergiSilisiumkarbidbelegg grafittbrett, Plate og Cover er konstruert for å levere førsteklasses ytelse, og gir pålitelig og konsistent drift over langvarig bruk, noe som gjør det til et viktig valg for wafer-behandlingsapplikasjoner i halvlederindustrien. Denne høy ytelseSilisiumkarbidbelegg grafittplatehar eksepsjonell varmebestandighet, overlegen termisk jevnhet og enestående kjemisk stabilitet, spesielt under høye temperaturforhold. Konstruksjonen med høy renhet, kombinert med avansert erosjonsbestandighet, gjør den uunnværlig for krevende miljøer som f.eks.MOCVD-susceptorer.
Nøkkelfunksjoner av silisiumkarbidbelegg grafittbrett, plate og deksel
1. Høytemperatur-oksidasjonsmotstand:Tåler temperaturer opp til 1700 ℃, noe som gjør at den kan yte pålitelig under ekstreme forhold.
2. Høy renhet og termisk enhetlighet:Konsekvent høy renhet og jevn varmefordeling er avgjørende for MOCVD-applikasjoner.
3. Eksepsjonell korrosjonsbestandighet:Motstandsdyktig mot syrer, alkalier, salter og ulike organiske reagenser, og sikrer langsiktig stabilitet i forskjellige miljøer.
4. Høy hardhet og kompakt overflate:Har en tett overflate med fine partikler, som forbedrer den generelle holdbarheten og motstandsdyktigheten mot slitasje.
5. Forlenget levetid:Konstruert for lang levetid, bedre enn konvensjonellesilisiumkarbidbelagte grafittsusceptoreri tøffe halvlederprosesseringsmiljøer.
CVD SiC薄膜基本物理性能 Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiCbelegg | |
性质 / Eiendom | 典型数值 / Typisk verdi |
晶体结构 / Krystallstruktur | FCC β-fase多晶,主要为(111)取向 |
密度 / Tetthet | 3,21 g/cm³ |
硬度 / Hardhet | 2500 维氏硬度(500g belastning) |
晶粒大小 / Kornstørrelse | 2~10μm |
纯度 / Kjemisk renhet | 99,99995 % |
热容 / Varmekapasitet | 640 J·kg-1·K-1 |
升华温度 / Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
抗弯强度 / Bøyestyrke | 415 MPa RT 4-punkts |
杨氏模量 / Youngs modul | 430 Gpa 4pt bøy, 1300 ℃ |
导热系数 / ThermalKonduktivitet | 300 W·m-1·K-1 |
热膨胀系数 / Termisk ekspansjon (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energys ekspertise innen tilpassede grafitt- og silisiumkarbidløsninger
Som en pålitelig produsent spesialiserer VET Energy seg på spesialdesignede grafittsusceptorer og silisiumkarbidbeleggløsninger. Vi tilbyr en rekke produkter skreddersydd for halvleder- og solcelleindustrien, inkludertSiC-belagte grafittkomponentersom brett, tallerkener og deksler. Vårt produktutvalg inkluderer også forskjellige beleggalternativer, som f.eksSiC-belegg for MOCVD, TaC belegg, glassaktig karbonbelegg, og pyrolytisk karbonbelegg, som sikrer at vi møter de varierende kravene til høyteknologiske industrier.
Vårt erfarne tekniske team, bestående av eksperter fra topp innenlandske forskningsinstitusjoner, tilbyr omfattende materialløsninger for kunder. Vi foredler kontinuerlig våre avanserte prosesser, inkludert en eksklusiv patentert teknologi som forbedrer bindingen mellom silisiumkarbidbelegget og grafittsubstratet, reduserer risikoen for løsrivelse og forlenger produktets levetid ytterligere.
Applikasjoner og fordeler i halvlederproduksjon
DeSilisiumkarbidbelegg for MOCVDgjør disse grafittmottakerne svært effektive i korrosive miljøer med høy temperatur. Enten de brukes som grafittwaferbærere eller andre MOCVD-komponenter, viser disse silisiumkarbidbelagte susceptorene overlegen holdbarhet og ytelse. For de som søker pålitelige løsninger iSiC-belagt grafittsusceptormarkedet, tilbyr VET Energys silisiumkarbidbelagte grafittbrett, plate og deksel et robust og allsidig alternativ som oppfyller de strenge kravene til halvlederindustrien.
Ved å fokusere på avansert materialvitenskap, er VET Energy forpliktet til å levere høyytelses SiC-belagt grafittløsninger som driver innovasjon innen halvlederbehandling og sikrer pålitelig ytelse i alle MOCVD-relaterte applikasjoner.
VET Energy er den virkelige produsenten av tilpassede grafitt- og silisiumkarbidprodukter med forskjellige belegg som SiC-belegg, TaC-belegg, glassaktig karbonbelegg, pyrolytisk karbonbelegg, etc., kan levere forskjellige tilpassede deler til halvleder- og solcelleindustrien.
Vårt tekniske team kommer fra topp innenlandske forskningsinstitusjoner, kan tilby mer profesjonelle materialløsninger for deg.
Vi utvikler kontinuerlig avanserte prosesser for å gi mer avanserte materialer, og har utarbeidet en eksklusiv patentert teknologi, som kan gjøre bindingen mellom belegget og underlaget tettere og mindre utsatt for løsrivelse.
Hjertelig velkommen til å besøke fabrikken vår, la oss diskutere videre!