VET-energienSiC-belagt MOCVD Susceptorer et høyytelsesprodukt konstruert for konsistent og pålitelig ytelse i waferbehandlingsapplikasjoner. Med en overlegenSiC-belegg, gir den eksepsjonell varmebestandighet, termisk jevnhet og korrosjonsbestandighet. Ideell forMOCVD utstyr, dettesilisiumkarbidbelagt susceptorsikrer optimaloblatvekst og utvidet levetid for utstyret.
Produktfunksjoner:
1. Høytemperatur-oksidasjonsmotstand opp til 1700 ℃: Vårt SiC-belegg gir eksepsjonell termisk stabilitet, selv i de mest krevende MOCVD-miljøene.
2. Høy renhet og termisk jevnhet: Silisiumkarbidsusceptoren garanterer minimalt med urenheter og konsistent oppvarming på tvers av waferen, og sikrer overlegen krystallkvalitet.
3. Utmerket korrosjonsbestandighet: Motstandsdyktig mot syrer, alkalier, salter og organiske reagenser, vår susceptor opprettholder sin integritet i ulike kjemiske miljøer.
4. Høy hardhet, tett overflate og fine partikler: Disse egenskapene bidrar til lengre levetid og økt holdbarhet.
Våre CVD silisiumkarbidbelagte produktfordeler og bruksområder
MOCVD-susceptorer gir betydelige fordeler i halvlederproduksjon. SiC-belegget forbedrer waferkvaliteten, reduserer defekter og optimerer produksjonseffektiviteten. VET Energy leverer et bredt spekter av silisiumkarbidprodukter skreddersydd for de spesifikke behovene til halvleder- og solcelleindustrien.
Produkttilpasning og teknisk støtte
Som en ledende produsent av silisiumkarbid- og grafittprodukter tilbyr VET Energy skreddersydde løsninger med ulike belegg som SiC, TaC, glassaktig karbon og pyrolytisk karbon. Vårt erfarne team kan gi ekspertveiledning og støtte for din spesifikke applikasjon.