SiC Coating Grafitt MOCVD Wafer Carriers Susceptorer

Kort beskrivelse:

VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor for Epitaxial Growth er et høyytelsesprodukt designet for å gi konsistent og pålitelig ytelse over en lengre periode. Den har supergod varmebestandighet og termisk ensartethet, høy renhet, erosjonsmotstand, noe som gjør den til den perfekte løsningen for waferbehandlingsapplikasjoner.

Send e-post til oss Last ned som PDF

Produktdetaljer

Produktetiketter

SiC belegg grafitt MOCVD Wafer bærere/susceptor

Alle våre susceptorer er laget av isostatisk grafitt med høy styrke. Dra nytte av den høye renheten til grafittene våre – utviklet spesielt for utfordrende prosesser som epitaksi, krystallvekst, ioneimplantasjon og plasmaetsing, samt for produksjon av LED-brikker.

Egenskaper til våre produkter:

1. Høy temperatur oksidasjonsmotstand opp til 1700 ℃.
2. Høy renhet og termisk jevnhet
3. Utmerket korrosjonsbestandighet: syre, alkali, salt og organiske reagenser.
4. Høy hardhet, kompakt overflate, fine partikler.
5. Lengre levetid og mer holdbar

CVD SiC薄膜基本物理性能 Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiCbelegg
性质 / Eiendom	典型数值 / Typisk verdi
晶体结构 / Krystallstruktur	FCC β-fase多晶，主要为（111）取向
密度 / Tetthet	3,21 g/cm³
硬度 / Hardhet	2500 维氏硬度（500g belastning）
晶粒大小 / Kornstørrelse	2~10μm
纯度 / Kjemisk renhet	99,99995 %
热容 / Varmekapasitet	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimeringstemperatur	2700 ℃
抗弯强度 / Bøyestyrke	415 MPa RT 4-punkts
杨氏模量 / Youngs modul	430 Gpa 4pt bøy, 1300 ℃
导热系数 / ThermalKonduktivitet	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Termisk ekspansjon (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy er den virkelige produsenten av tilpassede grafitt- og silisiumkarbidprodukter med forskjellige belegg som SiC-belegg, TaC-belegg, glassaktig karbonbelegg, pyrolytisk karbonbelegg, etc., kan levere forskjellige tilpassede deler til halvleder- og solcelleindustrien.

Vårt tekniske team kommer fra topp innenlandske forskningsinstitusjoner, kan tilby mer profesjonelle materialløsninger for deg.

Vi utvikler kontinuerlig avanserte prosesser for å gi mer avanserte materialer, og har utarbeidet en eksklusiv patentert teknologi, som kan gjøre bindingen mellom belegget og underlaget tettere og mindre utsatt for løsrivelse.

Hjertelig velkommen til å besøke fabrikken vår, la oss diskutere videre!