1. Kvittering før rengjøring
1) NårPECVD grafittbåt/bærer brukes mer enn 100 til 150 ganger, må operatøren sjekke beleggets tilstand i tide. Hvis det er et unormalt belegg, må det rengjøres og bekreftes. Den normale beleggsfargen på silisiumplaten i grafittbåten/bæreren er blå. Hvis waferen har ikke-blå, flere farger, eller fargeforskjellen mellom wafere er stor, er det et unormalt belegg, og årsaken til unormaliteten må bekreftes i tide.
2) Etter prosessen analyserer personell beleggets tilstandPECVD grafittbåt/bærer vil de avgjøre om grafittbåten må rengjøres og om kortpunktet må skiftes, og grafittbåten/bæreren som må rengjøres overleveres utstyrspersonellet for rengjøring.
3) Ettergrafitt båt/carrier er skadet, vil produksjonspersonellet ta ut alle silisiumskivene i grafittbåten og bruke CDA (komprimert luft) for å sortere ut fragmentene igrafitt båt. Etter ferdigstillelse vil utstyrspersonellet løfte det inn i syretanken som er klargjort med en viss andel HF-løsning for rengjøring.
2. Rengjøring av grafittbåt
Det anbefales å bruke en 15-25% flussyreløsning for tre runder med rengjøring, hver i 4-5 timer, og periodisk boblende nitrogen under bløtleggings- og rengjøringsprosessen, og legger til omtrent en halvtimes rengjøring; merk: det anbefales ikke å bruke luft direkte som gasskilde for bobling. Etter beising, skyll med rent vann i ca. 10 timer, og bekreft at båten er grundig rengjort. Etter rengjøring, vennligst sjekk overflaten på båten, grafittkortpunktet og båtens skjøt og andre deler for å se om det er rester av silisiumnitrid. Tørk deretter i henhold til kravene.
3. Forholdsregler for rengjøring
A) Siden HF-syre er et sterkt etsende stoff og har en viss flyktighet, er det farlig for operatører. Derfor må operatører ved rengjøringsposten ta sikkerhetstiltak og styres av en dedikert person.
B) Det anbefales å demontere båten og kun rengjøre grafittdelen under rengjøringen, slik at hver kontaktdel kan rengjøres mer grundig. For tiden bruker mange innenlandske produsenter generell rengjøring, noe som er praktisk, men fordi HF-syre er etsende for keramiske deler, vil generell rengjøring forkorte levetiden til de tilsvarende delene.
Innleggstid: 23. desember 2024