Grafittsubstrater/bærere med silisiumkarbidbelegg for halvledere

Kort beskrivelse:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor er et høyytelsesprodukt designet for å gi konsistent og pålitelig ytelse over en lengre periode. Den har supergod varmebestandighet og termisk ensartethet, høy renhet, erosjonsmotstand, noe som gjør den til den perfekte løsningen for waferbehandlingsapplikasjoner.


  • Opprinnelsessted:Zhejiang, Kina (fastlandet)
  • Modellnummer:Båt3004
  • Kjemisk sammensetning:SiC-belagt grafitt
  • Bøyestyrke:470 MPa
  • Termisk ledningsevne:300 W/mK
  • Kvalitet:Perfekt
  • Funksjon:CVD-SiC
  • Søknad:Halvleder / fotovoltaisk
  • Tetthet:3,21 g/cc
  • Termisk ekspansjon:4 10-6/K
  • Aske: <5 ppm
  • Prøve:Tilgjengelig
  • HS-kode:6903100000
  • Produktdetaljer

    Produktetiketter

    SiC-belagt grafittsusceptor er en nøkkelkomponent som brukes i ulike produksjonsprosesser for halvledere. vi bruker vår patenterte teknologi for å lage susceptoren med ekstremt høy renhet, god beleggsenhet og utmerket levetid, samt høy kjemisk motstandsdyktighet og termiske stabilitetsegenskaper.

    6

    Egenskaper til våre produkter:

    1. Høy temperatur oksidasjonsmotstand opp til 1700 ℃.
    2. Høy renhet og termisk jevnhet
    3. Utmerket korrosjonsbestandighet: syre, alkali, salt og organiske reagenser.

    4. Høy hardhet, kompakt overflate, fine partikler.
    5. Lengre levetid og mer holdbar

    CVD SiC薄膜基本物理性能

    Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiCbelegg

    性质 / Eiendom

    典型数值 / Typisk verdi

    晶体结构 / Krystallstruktur

    FCC β-fase多晶,主要为(111)取向

    密度 / Tetthet

    3,21 g/cm³

    硬度 / Hardhet

    2500 维氏硬度(500g belastning)

    晶粒大小 / Kornstørrelse

    2~10μm

    纯度 / Kjemisk renhet

    99,99995 %

    热容 / Varmekapasitet

    640 J·kg-1·K-1

    升华温度 / Sublimeringstemperatur

    2700 ℃

    抗弯强度 / Bøyestyrke

    415 MPa RT 4-punkts

    杨氏模量 / Youngs modul

    430 Gpa 4pt bøy, 1300 ℃

    导热系数 / ThermalKonduktivitet

    300 W·m-1·K-1

    热膨胀系数 / Termisk ekspansjon (CTE)

    4,5×10-6K-1

    1

    2

    VET Energy er den virkelige produsenten av tilpassede grafitt- og silisiumkarbidprodukter med forskjellige belegg som SiC-belegg, TaC-belegg, glassaktig karbonbelegg, pyrolytisk karbonbelegg, etc., kan levere forskjellige tilpassede deler til halvleder- og solcelleindustrien.

    Vårt tekniske team kommer fra topp innenlandske forskningsinstitusjoner, kan tilby mer profesjonelle materialløsninger for deg.

    Vi utvikler kontinuerlig avanserte prosesser for å gi mer avanserte materialer, og har utarbeidet en eksklusiv patentert teknologi, som kan gjøre bindingen mellom belegget og underlaget tettere og mindre utsatt for løsrivelse.

    Hjertelig velkommen til å besøke fabrikken vår, la oss diskutere videre!

    研发团队

     

    生产设备

     

    公司客户

     


  • Tidligere:
  • Neste:

  • WhatsApp nettprat!