MOCVD substratvarmer, varmeelementer for MOCVD

Kort beskrivelse:

Kjemisk grafitt

Fordel: Høy temperaturmotstand

Bruksområde: MOCVD / Vakuumovn / Hot Zone

Bulkdensitet: 1,68-1,91 g/cm3

Bøyestyrke: 30-46Mpa

Resistivitet:7-12μΩm

Send e-post til oss Last ned som PDF

Produktdetaljer

Produktetiketter

MOCVD substratvarmer, varmeelementer for MOCVD

Grafittvarmer:
Grafittvarmerkomponentene brukes i høytemperaturovnen med temperaturen nådd 2200 grader ved vakuummiljø og 3000 grader i det deoksiderte og innsatte gassmiljøet.
Hovedtrekk ved grafittvarmer:
1. jevnhet av varmestruktur.
2. god elektrisk ledningsevne og høy elektrisk belastning.
3. korrosjonsbestandighet.
4. inoksiderbarhet.
5. høy kjemisk renhet.
6. høy mekanisk styrke.
Fordelen er energieffektiv, høy verdi og lite vedlikehold.
Vi kan produsere antioksidasjons- og grafittdigel med lang levetid, grafittform og alle deler av grafittvarmeren.
Hovedparametre for grafittvarmer:

Teknisk spesifikasjon	VET-M3
Bulkdensitet (g/cm3)	≥1,85
Askeinnhold (PPM)	≤500
Shore hardhet	≥45
Spesifikk motstand (μ.Ω.m)	≤12
Flexural Strength (Mpa)	≥40
Kompressiv styrke (Mpa)	≥70
Maks. Kornstørrelse (μm)	≤43
Koeffisient for termisk ekspansjon Mm/°C	≤4,4*10-6

Grafittvarmer for elektrisk ovn har egenskaper som varmebestandighet, oksidasjonsmotstand, god elektrisk ledningsevne og bedre mekanisk intensitet. Vi kan maskinere ulike typer grafittvarmere i henhold til kundenes design.