Placa e tapa de bandexa de grafito con revestimento de carburo de silicio

Revestimento de carburo de silicio Placa e tapa da bandexa de grafito Imaxe destacada

Breve descrición:

A placa e a cuberta de grafito de revestimento de carburo de silicio VET Energy é un produto de alto rendemento deseñado para proporcionar un rendemento consistente e fiable durante un período prolongado. Ten unha excelente resistencia á calor e uniformidade térmica, alta pureza e resistencia á erosión, polo que é a solución perfecta para aplicacións de procesamento de obleas.

Envíanos un correo electrónico Descarga como PDF

Detalle do produto

Etiquetas de produtos

Enerxía VETBandexa de grafito con revestimento de carburo de silicio, Plate e Cover están deseñados para ofrecer un rendemento de primeiro nivel, proporcionando un funcionamento fiable e consistente durante un uso prolongado, polo que é unha opción esencial para as aplicacións de procesamento de obleas na industria de semicondutores. Este de alto rendementoPlaca de grafito con revestimento de carburo de silicioposúe unha resistencia á calor excepcional, unha uniformidade térmica superior e unha estabilidade química excepcional, especialmente en condicións de alta temperatura. A súa construción de alta pureza, unida á avanzada resistencia á erosión, faino indispensable para ambientes esixentes comoSusceptores MOCVD.

Características principais da bandexa, placa e tapa de grafito con revestimento de carburo de silicio

1. Resistencia á oxidación a alta temperatura:Soporta temperaturas de ata 1700 ℃, o que lle permite funcionar de forma fiable en condicións extremas.

2. Alta pureza e uniformidade térmica:A alta pureza constante e a distribución uniforme da calor son cruciais para as aplicacións MOCVD.

3. Excepcional resistencia á corrosión:Resistente a ácidos, álcalis, sales e diversos reactivos orgánicos, garantindo estabilidade a longo prazo en diversos ambientes.

4. Alta dureza e superficie compacta:Presenta unha superficie densa con partículas finas, mellorando a durabilidade xeral e a resistencia ao desgaste.

5. Vida útil prolongada:Deseñado para a lonxevidade, superando o convencionalSusceptores de grafito revestidos de carburo de silicioen ambientes duros de procesamento de semicondutores.

CVD SiC薄膜基本物理性能 Propiedades físicas básicas do CVD SiCrevestimento
性质 / Propiedade	典型数值 / Valor típico
晶体结构 / Estrutura cristalina	Fase β de FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidade	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 维氏硬度（500g de carga）
晶粒大小 / Tamaño do gran	2 ~ 10 μm
纯度 / Pureza química	99,99995 %
热容 / Capacidade calorífica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de sublimación	2700 ℃
抗弯强度 / Resistencia á flexión	415 MPa RT de 4 puntos
杨氏模量 / Módulo de Young	430 Gpa curva de 4 puntos, 1300 ℃
导热系数 / ThermalCondutividade	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansión térmica (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

A experiencia de VET Energy en solucións personalizadas de grafito e carburo de silicio

Como fabricante de confianza, VET Energy está especializado en susceptores de grafito personalizados e solucións de revestimento de carburo de silicio. Ofrecemos unha gama de produtos adaptados para as industrias de semicondutores e fotovoltaica, incluíndoCompoñentes de grafito revestidos de SiCcomo bandexas, pratos e tapas. A nosa liña de produtos tamén inclúe diversas opcións de revestimento, comoRevestimento de SiC para MOCVD, Revestimento de TaC, revestimento de carbono vítreo, e revestimento de carbono pirolítico, garantindo que cumprimos as diferentes demandas das industrias de alta tecnoloxía.

O noso experimentado equipo técnico, formado por expertos das principais institucións de investigación nacionais, ofrece solucións materiais completas aos clientes. Refinamos continuamente os nosos procesos avanzados, incluíndo unha tecnoloxía patentada exclusiva que mellora a unión entre o revestimento de carburo de silicio e o substrato de grafito, reducindo o risco de desprendimento e prolongando aínda máis a vida útil do produto.

Aplicacións e beneficios na fabricación de semicondutores

ORevestimento de carburo de silicio para MOCVDfai que estes susceptores de grafito sexan moi eficaces en ambientes corrosivos e de alta temperatura. Tanto se se usan como soportes de obleas de grafito ou outros compoñentes MOCVD, estes susceptores revestidos de carburo de silicio demostran unha durabilidade e un rendemento superiores. Para aqueles que buscan solucións fiables noSusceptor de grafito revestido de SiCmercado, a bandexa, a placa e a cuberta de grafito revestidas de carburo de silicio de VET Energy ofrecen unha opción robusta e versátil que satisface as rigorosas demandas da industria de semicondutores.

Ao centrarse na ciencia avanzada dos materiais, VET Energy comprométese a ofrecer solucións de grafito revestidas de SiC de alto rendemento que impulsen a innovación no procesamento de semicondutores e garantan un rendemento fiable en todas as aplicacións relacionadas con MOCVD.

VET Energy é o fabricante real de produtos personalizados de grafito e carburo de silicio con diferentes revestimentos como revestimento SiC, revestimento TaC, revestimento de carbono vítreo, revestimento de carbono pirolítico, etc., pode fornecer varias pezas personalizadas para a industria de semicondutores e fotovoltaica.

O noso equipo técnico provén das principais institucións de investigación nacionais, pode proporcionarlle solucións materiais máis profesionais.

Desenvolvemos continuamente procesos avanzados para proporcionar materiais máis avanzados e elaboramos unha tecnoloxía patentada exclusiva, que pode facer que a unión entre o revestimento e o substrato sexa máis estreita e menos propensa a desprenderse.

Benvido a visitar a nosa fábrica, imos ter máis discusións!