Fabricante de China Susceptor de epitaxia MOCVD de grafito revestido de SiC

Imaxe destacada do susceptor de epitaxia MOCVD de grafito revestido de SiC do fabricante de China

Breve descrición:

Pureza < 5 ppm
‣ Boa uniformidade de dopaxe
‣ Alta densidade e adhesión
‣ Boa resistencia á corrosión e ao carbono

‣ Personalización profesional
‣ Prazo de execución curto
‣ Abastecemento estable
‣ Control de calidade e mellora continua

Epitaxia de GaN en Sapphire(RGB/Mini/Micro LED);
Epitaxia de GaN sobre substrato Si(UVC);
Epitaxia de GaN sobre substrato Si(Dispositivo Electrónico);
Epitaxia de Si sobre substrato Si(Circuito integrado);
Epitaxia de SiC sobre substrato de SiC(Sustrato);
Epitaxia de InP sobre InP

Envíanos un correo electrónico Descarga como PDF

Detalle do produto

Etiquetas de produtos

Susceptor MOCVD de alta calidade Compre en liña en China

Unha oblea debe pasar por varios pasos antes de estar lista para o seu uso en dispositivos electrónicos. Un proceso importante é a epitaxia de silicio, no que as obleas son transportadas sobre susceptores de grafito. As propiedades e calidade dos susceptores teñen un efecto crucial sobre a calidade da capa epitaxial da oblea.

Para as fases de deposición de películas finas como epitaxia ou MOCVD, VET ofrece equipos de grafito ultrapuro utilizados para soportar substratos ou "obleas". No núcleo do proceso, estes equipos, susceptores de epitaxia ou plataformas satélite para o MOCVD, son sometidos primeiro ao ambiente de deposición:

Alta temperatura.
Alto baleiro.
Uso de precursores gasosos agresivos.
Contaminación cero, ausencia de peeling.
Resistencia aos ácidos fortes durante as operacións de limpeza

VET Energy é o fabricante real de produtos personalizados de grafito e carburo de silicio con revestimento para a industria de semicondutores e fotovoltaica. O noso equipo técnico provén das principais institucións de investigación nacionais, pode proporcionarlle solucións materiais máis profesionais.

Desenvolvemos continuamente procesos avanzados para proporcionar materiais máis avanzados e elaboramos unha tecnoloxía patentada exclusiva, que pode facer que a unión entre o revestimento e o substrato sexa máis estreita e menos propensa a desprenderse.

Características dos nosos produtos:

1. Resistencia á oxidación a alta temperatura ata 1700 ℃.
2. Alta pureza e uniformidade térmica
3. Excelente resistencia á corrosión: ácido, álcali, sal e reactivos orgánicos.
4. Alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
5. Maior vida útil e máis duradeiro

CVD SiC薄膜基本物理性能 Propiedades físicas básicas do CVD SiCrevestimento
性质 / Propiedade	典型数值 / Valor típico
晶体结构 / Estrutura cristalina	Fase β de FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidade	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 维氏硬度（500g de carga）
晶粒大小 / Tamaño do gran	2 ~ 10 μm
纯度 / Pureza química	99,99995 %
热容 / Capacidade calorífica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de sublimación	2700 ℃
抗弯强度 / Resistencia á flexión	415 MPa RT de 4 puntos
杨氏模量 / Módulo de Young	430 Gpa curva de 4 puntos, 1300 ℃
导热系数 / ThermalCondutividade	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansión térmica (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1