Como limpar o barco de grafito PECVD? Enerxía VET

1. Recoñecemento antes da limpeza

1) Cando oBarco de grafito PECVD/carrier úsase máis de 100 a 150 veces, o operador debe comprobar o estado do revestimento a tempo. Se hai un revestimento anormal, debe ser limpo e confirmado. A cor de revestimento normal da oblea de silicio no barco/portador de grafito é azul. Se a oblea ten varias cores non azuis ou a diferenza de cor entre as obleas é grande, é un revestimento anormal e a causa da anormalidade debe confirmarse a tempo.
2) Despois de que o persoal do proceso analice o estado do revestimentoBarco de grafito PECVD/transportista, determinarán se é preciso limpar a embarcación de grafito e se é preciso substituír o punto de tarxeta, e o bote de grafito/transportista que deba limpar será entregado ao persoal do equipamento para a súa limpeza.

 

3) Despois dobarco de grafito/carrier está danado, o persoal de produción sacará todas as obleas de silicio do barco de grafito e utilizará CDA (aire comprimido) para clasificar os fragmentos nobarco de grafito. Despois de rematar, o persoal do equipo elevarao ao depósito de ácido preparado cunha determinada proporción de solución de HF para a súa limpeza.

 

2. Limpeza de barco de grafito

Recoméndase usar unha solución de ácido fluorhídrico ao 15-25% durante tres quendas de limpeza, cada unha delas durante 4-5 horas, e facer burbullas periódicas de nitróxeno durante o proceso de remollo e limpeza, engadindo aproximadamente media hora de limpeza; nota: non se recomenda usar o aire directamente como fonte de gas para facer burbullas. Despois do decapado, enxágüe con auga pura durante unhas 10 horas e confirme que o barco foi limpo a fondo. Despois da limpeza, comprobe a superficie do barco, o punto da tarxeta de grafito e a unión da chapa do barco e outras pezas para ver se hai residuos de nitruro de silicio. A continuación, seque segundo os requisitos.

3. Precaucións de limpeza

A) Dado que o ácido HF é unha substancia altamente corrosiva e ten certa volatilidade, é perigoso para os operadores. Polo tanto, os operarios do posto de limpeza deben tomar precaucións de seguridade e ser xestionados por unha persoa dedicada.

B) Recoméndase desmontar a embarcación e limpar só a parte de grafito durante a limpeza, para que cada parte de contacto se poida limpar máis a fondo. Na actualidade, moitos fabricantes nacionais utilizan a limpeza xeral, o que é conveniente, pero debido a que o ácido HF é corrosivo para as pezas cerámicas, a limpeza xeral acurtará a vida útil das pezas correspondentes.