Susceptores de portadores de obleas MOCVD de grafito de revestimento de SiC

Revestimento de SiC Grafito MOCVD Portadores de obleas Susceptores Imaxe destacada

Breve descrición:

O susceptor MOCVD revestido de VET Energy SiC para o crecemento epitaxial é un produto de alto rendemento deseñado para proporcionar un rendemento consistente e fiable durante un período prolongado. Ten unha excelente resistencia á calor e uniformidade térmica, alta pureza e resistencia á erosión, polo que é a solución perfecta para aplicacións de procesamento de obleas.

Envíanos un correo electrónico Descarga como PDF

Detalle do produto

Etiquetas de produtos

Revestimento de SiC grafito MOCVD Portadores/susceptor de obleas

Todos os nosos susceptores están feitos de grafito isostático de alta resistencia. Benefíciese da alta pureza dos nosos grafitos, desenvolvidos especialmente para procesos desafiantes como epitaxia, crecemento de cristales, implantación iónica e gravado por plasma, así como para a produción de chips LED.

Características dos nosos produtos:

1. Resistencia á oxidación a alta temperatura ata 1700 ℃.
2. Alta pureza e uniformidade térmica
3. Excelente resistencia á corrosión: ácido, álcali, sal e reactivos orgánicos.
4. Alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
5. Maior vida útil e máis duradeiro

CVD SiC薄膜基本物理性能 Propiedades físicas básicas do CVD SiCrevestimento
性质 / Propiedade	典型数值 / Valor típico
晶体结构 / Estrutura cristalina	Fase β de FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidade	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 维氏硬度（500g de carga）
晶粒大小 / Tamaño do gran	2 ~ 10 μm
纯度 / Pureza química	99,99995 %
热容 / Capacidade calorífica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de sublimación	2700 ℃
抗弯强度 / Resistencia á flexión	415 MPa RT de 4 puntos
杨氏模量 / Módulo de Young	430 Gpa curva de 4 puntos, 1300 ℃
导热系数 / ThermalCondutividade	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansión térmica (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

VET Energy é o fabricante real de produtos personalizados de grafito e carburo de silicio con diferentes revestimentos como revestimento SiC, revestimento TaC, revestimento de carbono vítreo, revestimento de carbono pirolítico, etc., pode fornecer varias pezas personalizadas para a industria de semicondutores e fotovoltaica.

O noso equipo técnico provén das principais institucións de investigación nacionais, pode proporcionarlle solucións materiais máis profesionais.

Desenvolvemos continuamente procesos avanzados para proporcionar materiais máis avanzados e elaboramos unha tecnoloxía patentada exclusiva, que pode facer que a unión entre o revestimento e o substrato sexa máis estreita e menos propensa a desprenderse.

Benvido a visitar a nosa fábrica, imos ter máis discusións!