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Les avantages particuliers de nos suscepteurs en graphite à revêtement SiC comprennent une pureté extrêmement élevée, un revêtement homogène et une excellente durée de vie.Ils possèdent également des propriétés élevées de résistance chimique et de stabilité thermique.

Le revêtement SiC du substrat en graphite pour les applications semi-conducteurs produit une pièce d'une pureté et d'une résistance supérieures à l'atmosphère oxydante.
CVD SiC ou CVI SiC est appliqué au graphite de pièces de conception simple ou complexe.Le revêtement peut être appliqué en différentes épaisseurs et sur de très grandes pièces.

Caractéristiques:
· Excellente résistance aux chocs thermiques
· Excellente résistance aux chocs physiques
· Excellente résistance chimique
· Très haute pureté
· Disponibilité sous forme complexe
· Utilisable sous Atmosphère Oxydante

Application:

Propriétés typiques du matériau de base en graphite :

Carbone fournit des suscepteurs et des composants en graphite pour tous les réacteurs d'épitaxie actuels.Notre portefeuille comprend des suscepteurs en baril pour les unités appliquées et LPE, des suscepteurs en crêpe pour les unités LPE, CSD et Gemini, ainsi que des suscepteurs à plaquette unique pour les unités appliquées et ASM. En combinant des partenariats solides avec des équipementiers de premier plan, une expertise en matériaux et un savoir-faire en matière de fabrication, VET offre la conception optimale pour votre application.