Plateau épitaxial de feuille enduit de carbure de silicium utilisé dans l'équipement de four épitaxial

Brève description:

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. est une entreprise de haute technologie établie en Chine, nous sommes un fournisseur professionnel Plateau épitaxial de feuille enduit de carbure de silicium utilisé dans l'équipement de four épitaxial afabricant et fournisseur. nous nous concentrons sur les nouvelles technologies matérielles et les produits automobiles.


Détail du produit

Mots clés du produit

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Notre société fournit des services de processus de revêtement SiC par méthode CVD sur la surface du graphite, de la céramique et d'autres matériaux, de sorte que des gaz spéciaux contenant du carbone et du silicium réagissent à haute température pour obtenir des molécules SiC de haute pureté, des molécules déposées à la surface des matériaux revêtus, formant une couche protectrice SIC.

Caractéristiques principales:

1. Résistance à l’oxydation à haute température :

la résistance à l'oxydation est encore très bonne lorsque la température atteint 1600 C.

2. Haute pureté : fabriqué par dépôt chimique en phase vapeur dans des conditions de chloration à haute température.

3. Résistance à l'érosion : dureté élevée, surface compacte, particules fines.

4. Résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.

Principales spécifications du revêtement CVD-SIC :

Propriétés SiC-CVD

Structure en cristal Phase β du FCC
Densité g/cm³ 3.21
Dureté Dureté Vickers 2500
Taille d'un grain µm 2~10
Pureté chimique % 99.99995
Capacité thermique J·kg-1·K-1 640
Température de sublimation 2700
Force de flexion MPa (RT 4 points) 415
Module d'Young Gpa (courbure 4pt, 1300℃) 430
Expansion thermique (CTE) 10-6K-1 4.5
Conductivité thermique (W/mK) 300

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