Cassette et support pour plaquettes de SiC

Cassette et support pour plaquettes de SiC

cassette de plaquettes en carbure de siliciumIl sert principalement à supporter et à transporter les plaquettes lors des procédés thermiques à haute température appliqués aux plaquettes de semi-conducteurs, tels que la diffusion, l'oxydation et le recuit. Ses performances influent directement sur la qualité des plaquettes produites et sur l'efficacité de la production.

Conception structurelle des supports pour plaquettes de carbure de silicium :
Il présente généralement une structure à fentes ou en forme de peigne ;
Plusieurs emplacements pour le placement et la séparation des plaquettes ;
Conçu pour tenir compte de la distribution du flux de gaz, assurant un chauffage et un refroidissement uniformes ;
Convient aux fours verticaux et horizontaux ;
Conçu pour des gaufrettes de différentes tailles telles que 3 pouces, 4 pouces, 6 pouces, 8 pouces et 12 pouces.

Les supports de plaquettes en carbure de silicium de VET Energy sont fabriqués à l'aide d'une technologie de frittage avancée et sont spécialement conçus pour répondre aux exigences strictes des procédés de fabrication de semi-conducteurs de pointe. Leurs avantages techniques supérieurs se manifestent principalement dans les aspects suivants :

1. Pureté ultime et contamination ultra-faible
L'utilisation de matières premières d'une pureté exceptionnelle garantit un taux de contamination en ions métalliques extrêmement faible (moins de 1 ppm pour Na, K, Fe et Ca). La précipitation minimale à haute température prévient efficacement la contamination des plaquettes, assurant ainsi un rendement et une fiabilité élevés des puces. Ces dernières constituent un choix idéal pour les entreprises en quête d'excellence.
2. Excellentes performances thermiques et stabilité
Nos porte-plaquettes en carbure de silicium (SiC) possèdent une conductivité thermique extrêmement élevée et une excellente résistance aux chocs thermiques. Ils supportent des variations de température rapides, de la température ambiante à 1 600 °C, sans se fissurer ni se déformer, garantissant ainsi la reproductibilité et la constance des procédés et réduisant considérablement les arrêts de production imprévus dus à des problèmes de support.
3. Résistance à la corrosion et résistance mécanique exceptionnelles
Sa dureté élevée et sa grande résistance à l'usure, associées à une résistance exceptionnelle aux milieux acides et alcalins, surpassent largement celles du quartz et du graphite. Sa robustesse mécanique exceptionnelle empêche efficacement la formation de particules lors de manipulations automatisées fréquentes, prolongeant ainsi considérablement sa durée de vie et réduisant les coûts d'exploitation.
4. Conception de précision et excellente constance
Grâce à l'utilisation de technologies de moulage et de traitement avancées, nous garantissons que chaque porte-plaquettes possède des dimensions géométriques précises et une excellente précision de surface, assurant un espacement uniforme des plaquettes et un flux d'air stable.

Nettoyage et entretien du porte-plaquettes SiC :
Nécessite un nettoyage régulier pour éliminer les dépôts potentiels ;
Utilise des solutions et des méthodes de nettoyage spécialisées pour éviter tout dommage ;