Supports de plaquettes MOCVD en graphite revêtus de SiC, suscepteurs en graphite pour épitaxie de SiC,
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Le revêtement CVD-SiC présente les caractéristiques suivantes : structure uniforme, matériau compact, résistance aux hautes températures, résistance à l'oxydation, haute pureté, résistance aux acides et aux alcalis et aux réactifs organiques, avec des propriétés physiques et chimiques stables.

Comparé aux matériaux en graphite de haute pureté, le graphite commence à s'oxyder à 400 °C, ce qui entraîne une perte de poudre due à l'oxydation, provoquant une pollution environnementale des dispositifs périphériques et des chambres à vide, et augmentant les impuretés dans l'environnement de haute pureté.

Cependant, le revêtement SiC peut maintenir une stabilité physique et chimique à 1600 degrés. Il est largement utilisé dans l'industrie moderne, notamment dans l'industrie des semi-conducteurs.

Notre entreprise propose des services de revêtement SiC par dépôt chimique en phase vapeur (CVD) sur graphite, céramique et autres matériaux. Ce procédé utilise des gaz spécifiques contenant du carbone et du silicium qui réagissent à haute température pour obtenir des molécules de SiC de haute pureté. Ces molécules se déposent ensuite sur la surface des matériaux revêtus, formant une couche protectrice de SiC. Cette couche de SiC adhère fortement au support en graphite, lui conférant des propriétés particulières : une surface compacte, non poreuse, résistante aux hautes températures, à la corrosion et à l’oxydation.

Caractéristiques principales :

1. Résistance à l'oxydation à haute température :

La résistance à l'oxydation reste très bonne même à des températures atteignant 1700 °C.

2. Haute pureté : fabriqué par dépôt chimique en phase vapeur dans des conditions de chloration à haute température.

3. Résistance à l'érosion : dureté élevée, surface compacte, particules fines.

4. Résistance à la corrosion : acides, bases, sels et réactifs organiques.

Principales caractéristiques des revêtements CVD-SIC :

Capacité d'approvisionnement :

10 000 pièces par mois
Emballage et livraison :
Emballage : Emballage standard et robuste
Sac en polyéthylène + Boîte + Carton + Palette
Port:
Ningbo/Shenzhen/Shanghai
Délai de mise en œuvre: