Suscepteur de canon revêtu de SiC personnalisé

Suscepteur de barilletIl s'agit d'un composant essentiel des procédés de croissance épitaxiale de semi-conducteurs tels que MOCVD, MBE et CVD. Il sert principalement à transporter les plaquettes dans les chambres de réaction à haute température et à assurer un environnement thermique uniforme et stable, garantissant ainsi le dépôt précis de couches épitaxiales (comme GaN, SiC, etc.). Sa fonction principale est d'obtenir une température de surface de la plaquette parfaitement uniforme grâce à un contrôle précis du champ thermique, assurant ainsi l'uniformité de l'épaisseur, de la concentration de dopage et de la structure cristalline des couches minces épitaxiales.

Nous utilisons notre technologie brevetée pour fabriquersupport de barilletavec une pureté extrêmement élevée, une bonne uniformité de revêtement et une excellente durée de vie, ainsi que des propriétés de haute résistance chimique et de stabilité thermique.

VET Energy utilise du graphite de haute pureté avec un revêtement CVD-SiC pour améliorer la stabilité chimique :

1. Matériau en graphite de haute pureté
Conductivité thermique élevée : la conductivité thermique du graphite est trois fois supérieure à celle du silicium, ce qui permet de transférer rapidement la chaleur de la source de chauffage à la plaquette et de raccourcir le temps de chauffage.
Résistance mécanique : densité du graphite sous pression isostatique ≥ 1,85 g/cm³, capable de résister à des températures élevées supérieures à 1200 ℃ sans déformation.

2. Revêtement SiC CVD
Une couche de β-SiC est formée sur la surface du graphite par dépôt chimique en phase vapeur (CVD), avec une pureté de ≥ 99,99995 %, l'erreur d'uniformité de l'épaisseur du revêtement est inférieure à ±5 % et la rugosité de surface est inférieure à Ra0,5 µm.

3. Amélioration des performances :
Résistance à la corrosion : peut résister à des gaz hautement corrosifs tels que Cl2, HCl, etc., peut tripler la durée de vie de l'épitaxie GaN dans un environnement NH3.
Stabilité thermique : Le coefficient de dilatation thermique (4,5 × 10-6/℃) correspond à celui du graphite pour éviter la fissuration du revêtement causée par les fluctuations de température.
Dureté et résistance à l'usure : La dureté Vickers atteint 28 GPa, soit 10 fois plus que le graphite, ce qui peut réduire le risque de rayures sur la plaquette.