Bateau PECVD en graphite de haute pureté pour panneau solaire
Description
1). Adopté pour éliminer la technologie des « lentilles de couleur », afin de garantir l'absence de « lentilles de couleur » pendant le processus à long terme.
2). Fabriqué à partir de graphite importé SGL avec une pureté élevée, une faible teneur en impuretés et une résistance élevée.
3). Utilisation de 99,9 % de céramique pour l'assemblage en céramique avec de fortes performances de résistance à la corrosion et une résistance à la rupture.
4). Utiliser l'équipement de traitement de précision pour garantir l'exactitude de chaque pièce.
Spécification
Article | Taper | Support de plaquette numérotée |
Bateau en graphite PECVD — La série 156 | Bateau en graphite 156-13 | 144 |
Bateau en graphite 156-19 | 216 | |
Bateau en graphite 156-21 | 240 | |
Bateau en graphite 156-23 | 308 | |
Bateau en graphite PECVD — La série 125 | Bateau en graphite 125-15 | 196 |
Bateau en graphite 125-19 | 252 | |
Bateau en graphite 125-21 | 280 |
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