Bateau à plaquettes contigu

Brève description :

Le Contiguous Wafer Boat de vet-china est conçu pour une manipulation efficace des plaquettes dans la fabrication de semi-conducteurs. Conçue avec précision, la solution de vet-china garantit la stabilité thermique et la résistance chimique, optimisant les processus de production tout en minimisant les dommages et en améliorant le débit.

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Détail du produit

Mots clés du produit

vet-china présente un bateau à plaquettes contiguës de pointe conçu pour la prochaine génération de fabrication de semi-conducteurs. Ce bateau méticuleusement conçu offre une précision inégalée dans la manipulation des plaquettes, garantissant des opérations fluides et réduisant considérablement le risque de dommages pendant le traitement.

Construit avec des matériaux de haute qualité, le Contiguous Wafer Boat offre une excellente stabilité thermique et une résistance chimique exceptionnelle, ce qui le rend idéal pour les environnements chimiques difficiles et à haute température. Sa conception innovante garantit que les plaquettes sont solidement maintenues et parfaitement alignées, optimisant ainsi le débit et augmentant l'efficacité de la fabrication.

Ce bateau de tranches de pointe est conçu pour répondre aux besoins exigeants des usines de fabrication de semi-conducteurs modernes, prenant en charge différentes tailles et configurations de tranches. En incorporant le Contiguous Wafer Boat de vet-china dans votre ligne de production, vous pouvez vous attendre à des performances améliorées, à une réduction des temps d'arrêt et à des taux de rendement accrus.

Découvrez la différence grâce à l'engagement de vet-china envers la qualité et l'innovation, en proposant des produits qui repoussent les limites de la fabrication de semi-conducteurs. Choisissez le Contiguous Wafer Boat et élevez vos capacités de traitement de plaquettes vers de nouveaux sommets.

Propriétés du carbure de silicium recristallisé

Le carbure de silicium recristallisé (R-SiC) est un matériau haute performance dont la dureté est juste derrière le diamant, qui est formé à une température élevée supérieure à 2 000 ℃. Il conserve de nombreuses excellentes propriétés du SiC, telles qu'une résistance à haute température, une forte résistance à la corrosion, une excellente résistance à l'oxydation, une bonne résistance aux chocs thermiques, etc.

● Excellentes propriétés mécaniques. Le carbure de silicium recristallisé a une résistance et une rigidité plus élevées que la fibre de carbone, une résistance élevée aux chocs, peut jouer de bonnes performances dans des environnements à températures extrêmes, peut jouer une meilleure performance de contrepoids dans une variété de situations. De plus, il a également une bonne flexibilité et n'est pas facilement endommagé par l'étirement et la flexion, ce qui améliore considérablement ses performances.

● Haute résistance à la corrosion. Le carbure de silicium recristallisé a une résistance élevée à la corrosion sur une variété de supports, peut empêcher l'érosion d'une variété de supports corrosifs, peut conserver ses propriétés mécaniques pendant une longue période, a une forte adhérence, de sorte qu'il ait une durée de vie plus longue. De plus, il présente également une bonne stabilité thermique, peut s'adapter à une certaine plage de changements de température et améliorer son effet d'application.

● Le frittage ne rétrécit pas. Étant donné que le processus de frittage ne rétrécit pas, aucune contrainte résiduelle ne provoquera de déformation ou de fissuration du produit, et des pièces aux formes complexes et de haute précision peuvent être préparées.

重结晶碳化硅物理特性 Propriétés physiques du carbure de silicium recristallisé
性质 / Propriété	典型数值 / Valeur typique
使用温度/ Température de travail (°C)	1600°C (avec oxygène), 1700°C (environnement réducteur)
SiC含量/ Contenu SiC	> 99,96%
自由Si含量/ Contenu Si gratuit	< 0,1%
体积密度/Densité apparente	2,60-2,70 g/cm³
气孔率/ Porosité apparente	< 16%
抗压强度/ Résistance à la compression	> 600MPa
常温抗弯强度/Résistance à la flexion à froid	80-90 MPa (20°C)
高温抗弯强度Résistance à la flexion à chaud	90-100 MPa (1 400 °C)
热膨胀系数/ Expansion thermique à 1500°C	4,70 10^-6/°C
导热系数/Conductivité thermique à 1200°C	23W/m•K
杨氏模量/ Module élastique	240 GPa
抗热震性/ Résistance aux chocs thermiques	Extrêmement bien

L'énergie de l'EFP est levéritable fabricant de produits personnalisés en graphite et en carbure de silicium avec revêtement CVD,peut fournirdiverspièces sur mesure pour l'industrie des semi-conducteurs et photovoltaïque. ONotre équipe technique provient des meilleures institutions de recherche nationales et peut fournir des solutions matérielles plus professionnelles.pour toi.

Nous développons continuellement des processus avancés pour fournir des matériaux plus avancés,etont développé une technologie brevetée exclusive, qui peut rendre la liaison entre le revêtement et le substrat plus serrée et moins sujette au détachement.

MCV SiC薄膜基本物理性能 Propriétés physiques de base du CVD SiCrevêtement
性质 / Propriété	典型数值 / Valeur typique
晶体结构 / Structure Cristalline	Phase β du FCC多晶，主要为（111)
密度 / Densité	3,21 g/cm³
硬度 / Dureté	2 500 维氏硬度 (charge de 500 g)
晶粒大小 / TAILLE DES GRAINS	2~10μm
纯度 / Pureté chimique	99,99995%
热容 / Capacité thermique	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Température de sublimation	2700 ℃
抗弯强度 / Résistance à la flexion	415 MPa RT 4 points
杨氏模量 / Module de Young	Courbure 430 Gpa 4pt, 1300℃
导热系数 / ThermesjeConductivité	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansion thermique (CTE)	4,5×10^-6K^-1